[实用新型]电子组件取放设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种电子组件取放设备，特别是关于一种具有高作业效率的电子组件取放设备。

背景技术

查，在半导体制程中，使用一取放设备将电子组件由前一个制程的平台移载到下一个制程的平台的技术系广泛使用，取放作业的执行效率也因此影响到整个半导体制程的产能。缘此，目前业界致力于取放设备的改良，除了准确性、可靠性之外，更是要进一步提升取放效率。

以晶粒的取放作业为例，现有技术的取放设备通常提供有二个直线取放臂，其中一个直线取放臂将晶粒自晶粒承载环经直线滑移而运送至预热平台，另一个直线取放臂再将经预热的晶粒经直线滑移而运送至置放平台。然而，由于二个直线取放臂运送晶粒的行程长短并不相同，二者速度无法匹配，致使产能受限。

另一种现有技术的取放设备则是提供有二个旋转取放臂，其中一个旋转取放臂将晶粒自晶粒承载环经旋移而运送至预热平台，另一个旋转取放臂再将经预热的晶粒经旋移而运送至置放平台。然而，由于二个旋转取放臂旋移时所扫过的范围有所重迭交错，导致容易产生互撞，此种设计控制难度极高，使取放效率难以提升。

实用新型内容

缘此，本实用新型的一目的即是提供一种能够高效率作业、以提高产能的电子组件取放设备。

本实用新型为解决现有技术的问题所采用的技术手段系提供一种电子组件取放设备，包含：一组件承载台；二个移载平台；一置放平台；一旋转取放装置，具有一旋转取放臂，该旋转取放臂经设置而在该组件承载台与该移载平台之间进行旋转位移而取放电子组件；以及一直线取放装置，具有二个直线取放臂，该直线取放臂经设置而在该移载平台与该置放平台之间进行直线位移而取放电子组件。

在本实用新型的一实施例中，该二个移载平台相对于该组件承载台而互相位在该旋转取放臂的旋转对称位置。

在本实用新型的一实施例中，该置放平台系位在该二个移载平台的相连直线上，该直线取放臂系在该二个移载平台之间进行直线位移而取放电子组件。

在本实用新型的一实施例中，该置放平台系位在该二个移载平台之间。

在本实用新型的一实施例中，该二个直线取放臂系在不同的该移载平台与该置放平台之间进行直线位移而取放电子组件。

在本实用新型的一实施例中，该电子组件为一晶粒或一封装组件。

在本实用新型的一实施例中，该组件承载台为一晶圆承载环。

在本实用新型的一实施例中，该移载平台为预热平台。

经由本实用新型所采用的技术手段，通过将电子组件以旋转取放臂送至移载平台，再由直线取放臂接替运送电子组件，二种不同的取放臂在行程上容易匹配设计，而能够达到最佳速度分配，并且二者的位移路径不会重迭交错，其控制简单，使取放效率能够有效提升。此外，在本实用新型的一实施例中，电子组件取放设备提供有一个旋转取放臂对应二个直线取放臂的搭配结构，通过旋转取放臂高速分送电子组件给二个直线取放臂，而后续由二个直线取放臂分时作业，从而提升取放效率，而达到提高产能之效。

附图说明

本实用新型所采用的具体实施例，将通过以下的实施例及附呈图式作进一步的说明。

图1系显示根据本实用新型的一实施例的一电子组件取放设备的立体图。

图2系显示根据本实用新型的实施例的电子组件取放设备的俯视图。

其中：

100      电子组件取放设备

1        组件承载台

2        移载平台

3        置放平台

4        旋转取放装置

41       旋转取放臂

411      取放端

5        直线取放装置

51  直线取放臂

E   电子组件

具体实施方式

以下根据图1及图2，而说明本实用新型的实施方式。该说明并非为限制本实用新型的实施方式，而为本实用新型的实施例的一种。

如图1及图2所示，根据本实用新型的一实施例的一电子组件取放设备100，包含：一组件承载台1；二个移载平台2；一置放平台3；一旋转取放装置4，具有一旋转取放臂41，该旋转取放臂41经设置而在该组件承载台1与该移载平台2之间进行旋转位移而取放电子组件E；以及一直线取放装置5，具有二个直线取放臂51，该二个直线取放臂51经设置而在该移载平台2与该置放平台3之间进行直线位移而取放电子组件E。