[实用新型]一种新型真空吸笔有效
申请号: | 201420179655.5 | 申请日: | 2014-04-15 |
公开(公告)号: | CN203910775U | 公开(公告)日: | 2014-10-29 |
发明(设计)人: | 陈刚刚;谢余才;周卞宁;许莉;李昭 | 申请(专利权)人: | 宁夏银星能源股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683;H01L31/18 |
代理公司: | 宁夏专利服务中心 64100 | 代理人: | 赵明辉 |
地址: | 750021 宁夏回族*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 真空 | ||
1.一种新型真空吸笔,包括吸头(3),在该吸头(3)上设有吸孔(4),其特征在于:在该吸头(3)上的吸孔(4)处覆盖有海绵双面胶(2),在该海绵双面胶(2)上覆盖有高温布(1),并且在该吸孔(4)处的海绵双面胶(2)和高温布(1)上均开有通孔,从而完全露出吸孔(4)。
2.如权利要求1所述的一种新型真空吸笔,其特征在于:其中吸孔(4)为圆形,而海绵双面胶(2)和高温布(1)上的通孔均为椭圆形。
3.如权利要求1或2所述的一种新型真空吸笔,其特征在于:其中海绵双面胶(2)的厚度为1mm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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