[实用新型]一种磁场增强型线性大面积离子源

权利要求书

1.一种磁场增强型线性大面积离子源，其特征在于，包括阴极顶板（1）、阴极框体（2）、环形阳极（3）、绝缘支柱（4）、条形磁钢（5）、气体电离室（6）和环形离子束引出口（7）；所述阴极顶板（1）设置于阴极框体（2）的顶部开口处，环形离子束引出口（7）开设在阴极顶板（1）上，环形阳极（3）固定在绝缘支柱（4）上，环形阳极（3）和绝缘支柱（4）位于阴极框体（2）内，绝缘支柱（4）的底部设置于阴极框体（2）上，环形离子束引出口（7）位于环形阳极（3）之上，环形离子束引出口（7）和环形阳极（3）形状位置相匹配，气体电离室（6）设置于环形阳极（3）上表面和环形离子束引出口（7）之间，条形磁钢（5）设置于环形阳极（3）的环形开口内，条形磁钢（5）、环形阳极（3）和阴极顶板（1）构成了环形放电槽；所述阴极框体（2）、环形阳极（3）、阴极顶板（1）上分别设有冷水管（8）；阴极框体（2）的底部开设通气管道（9），所述通气管道（9）设置于环形阳极（3）和条形磁钢（5）之间。

2.根据权利要求1所述的一种磁场增强型线性大面积离子源，其特征在于，所述环形离子束引出口（7）的剖面包括倒梯形和长方形，倒梯形的短底边和长方形连接，长方形位于环形阳极（3）的上表面之上；所述倒梯形的两个斜边相互垂直。

3.根据权利要求1所述的一种磁场增强型线性大面积离子源，其特征在于，位于环形离子束引出口（7）之内的阴极顶板（1）为阴极内环（11），位于环形离子束引出口（7）之外的阴极顶板（1）为阴极外环（12），阴极内环（11）上设有冷水管（8），阴极外环（12）与阴极框体（2）连接，阴极框体（2）内设有冷水管（8），环形阳极（3）的环体内设有冷水管（8）。

4.根据权利要求1所述的一种磁场增强型线性大面积离子源，其特征在于，所述气体电离室（6）的高度为3～5mm。

5.根据权利要求1所述的一种磁场增强型线性大面积离子源，其特征在于，所述阴极框体（2）的内部开设多个沉孔（21），绝缘支柱（4）的底部嵌入在所述沉孔（21）内。

6.根据权利要求1所述的一种磁场增强型线性大面积离子源，其特征在于，所述阴极顶板（1）与阴极框体（2）通过螺栓（10）相连，环形阳极（3）和绝缘支柱（4）通过螺栓（10）相连。

7.根据权利要求1所述的一种磁场增强型线性大面积离子源，其特征在于，所述阴极框体（2）的底部设有气体缓冲装置，所述气体缓冲装置包括相互连接的一级缓冲室（22）和二级缓冲室（23），一级缓冲室（22）上设有一级进气口（221）和一级出气口（222），二级缓冲室（23）上设有二级进气口（231）和二级出气口（232），一级进气口（221）位于一级缓冲室（22）的底部，一级出气口（222）位于一级缓冲室（22）的顶部，一级出气口（222）向缓冲室内凸起且位于一级进气口（221）的两侧，二级进气口（231）和一级出气口（222）重合，二级进气口（231）位于二级缓冲室（23）的底部，二级出气口（232）位于二级缓冲室（23）的顶部，二级进气口（231）位于二级出气口（232）的两侧，二级出气口（232）和阴极框体（2）的通气管道（9）相连。

8.根据权利要求1所述的一种磁场增强型线性大面积离子源，其特征在于，所述条形磁钢（5）为Nd-Fe-B永磁体。