[实用新型]一种电阻测量装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及检测技术领域，尤其涉及一种用于检测电阻的电阻测量装置。

背景技术

一般的，半导体生产领域需要采用测试工具来检测物体表面电阻；参见图1，图1为通过测试工具检测物体表面电阻的示意图，其中，所述测试工具为四探针测试装置，从图1中可以看出，所述四探针测试装置包括电流源11、用于调解探针整体高度的高度调节器12、用于检测被测的物体施加到探针上的压力的压力传感器13、依次呈等距线性分布的第一探针14、第二探针15、第三探针16、第四探针17以及用于检测第二探针与第三探针之间的电压的电压表18；一般的，所述电流源11为恒流源。

需要检测被测物体表面电阻时，将所述四探针测试装置放置在所述被测物体的表面，电流源11通过第一探针14和第四探针17向被测物体提供稳定的电流，电压表18用于测定第二探针15和第三探针16之间的电压值。一般的，由于电压表的内阻非常大，因此通过电压表18的电流非常小，所以通过被测物体的电流近似等于电流源11提供的电流；同时，第二探针15和第三探针16与被测物体接触时，会产生接触电阻，因此当有电流通过时，会产生相应的接触电压，但是由于通过电压表18的电流非常小，因此接触电压也非常小，可以忽略不计，电压表18测量的电压值近似等于被测物体所分担的电压值。最后，根据电流、电压和电阻之间的关系，即可计算出被测物体的表面电阻。

但是，在实际测量过程中，并不是所有被测物体的表面都是平整的，对于表面粗糙或弯曲的物体来说，如图2和图3所示，由于四个探针的高度是固定的，且四个探针的高度相同，因此在测量过程中各探针与被测物体表面的接触情况各不相同，各探针受力不均，甚至会出现个别探针与被测物体之间虚接的情况，导致测量数据的精确度较差。

实用新型内容

本实用新型实施例提供了一种电阻测量装置，用于解决现有技术中由于探针与被测物体表面接触不均或虚接所造成的测量数据不准确的问题，使得每一探针都能够与被测物体表面均匀接触，提高测量的精确度。

本实用新型实施例提供了一种电阻测量装置，所述装置包括：电流源，多个探针，用于测量被测物体表面上两个检测点之间的电压的电压表；所述装置还包括与每一个探针对应设置的压力调节结构；且每一所述压力调节结构固定连接于与之对应的探针的不与被测物体接触的一端；在利用所述装置测量被测物体的电阻时，根据检测到的被测物体对探针施加的压力大小，每一压力调节结构带动对应探针进行升降动作，使得被测物体对探针施加的压力大小位于设定的压力范围内。

本实用新型实施例提供的电阻测量装置包括多个压力调节结构，所述压力调节结构固定连接于与之对应的探针的不与电阻接触的一端；在利用所述装置测量电阻时，每一压力调节结构检测与之对应的探针受到的压力大小，带动对应探针进行升降动作，使得被测物体对探针施加的压力大小位于设定的压力范围内，进而有效的解决了由于探针与被测物体表面接触不均或虚接所造成的测量数据不准确的问题，提高了测量的精确度。

较佳的，所述压力调节结构包括：压力传感器和高度调节器；其中，所述压力传感器，检测被测物体对与所述压力传感器对应的探针施加的压力，并将检测结果发送给所述高度调节器；所述高度调节器，根据检测到的每一探针所受到的压力，带动对应探针进行升降动作，使得被测物体对探针施加的压力大小位于设定的压力范围内。

通过所述压力传感器，能够检测与之对应的探针受到的来自被测物体的压力，并将检测到的结果发送给所述高度调节器；所述高度调节器根据接收到的压力的大小，带动对应探针进行升降动作，使得被测物体对探针施加的压力大小位于设定的压力范围内，从而使得每一探针都能够与被测物体表面均匀接触，探针之间受力均匀，进而有效的解决了由于探针与被测物体表面接触不均或虚接所造成的测量数据不准确的问题。

较佳的，所述高度调节器为马达。所述马达可以根据检测到的探针收到的压力的大小，自行调整该探针的高度，从而达到探针受力均匀的目的。此外，所述高度调节器还可以为一处于压缩状态的弹簧装置，通过调节该弹簧的长度，从而达到带动对应探针进行升降动作，使得被测物体对探针施加的压力大小位于设定的压力范围内，使得探针受力均匀的目的。

较佳的，所述电阻测量装置包括四个探针。一般的，采用包括四个探针的电阻测量装置，能够忽略由于电阻测量装置本身所造成的误差，精确的测量出被测物体表面电阻，进一步提高测量的精确度。此外，所述电阻测量装置还可以包括两个探针，也能够用来测量被测物体的表面电阻。