[实用新型]一种用于光罩盒的除尘装置有效
| 申请号： | 201420059997.3 | 申请日： | 2014-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN203695527U | 公开（公告）日： | 2014-07-09 |
| 发明（设计）人： | 李传 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人： | 李仪萍 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 光罩盒 除尘 装置 | ||
1.一种用于光罩盒的除尘装置，其特征在于，所述用于光罩盒的除尘装置至少包括：
上表面设有开口且侧壁设有至少一个通槽的外罩；
位于所述外罩底部的至少三个支撑柱；
上表面固定有粘性垫并套设在所述支撑柱上上下滑动的基板；
所述支撑柱位于所述基板下方部分穿套有弹性部件；
所述基板、支撑柱、弹性部件及粘性垫均置于所述外罩内部；
所述外罩上表面的开口的垂直投影位于所述粘性垫上表面；
穿过所述通槽并伸出所述外罩并与所述基板连接的开合器；所述开合器在所述通槽中上下移动；
卡持于所述开口的光罩盒；所述光罩盒具有底座及位于底座上方的卡口，其底座嵌入所述外罩的开口并与所述粘性垫表面接触；所述卡口纵截面的宽度大于所述开口纵截面的宽度；所述基板上下移动的距离大于等于所述光罩盒上下移动的距离。
2.根据权利要求1所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述支撑柱围绕所述基板中心呈均匀分布。
3.根据权利要求2所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述支撑柱为四个。
4.根据权利要求1所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述粘性垫的材料为防静电胶带。
5.根据权利要求1所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述穿套于所述支撑柱的弹性部件底部固定于所述支撑柱底部。
6.根据权利要求1或5所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述支撑柱底部固定于所述外罩底部。
7.根据权利要求1所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述外罩的开口垂直投影位于所述粘性垫表面的中部。
8.根据权利要求1所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述弹性部件为弹簧，所述弹簧的自由长度均相等。
9.根据权利要求8所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述弹簧的弹性系数均相等。
10.根据权利要求1所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述通槽及穿过该通槽的开合器有两个。
11.根据权利要求10所述的用于光罩盒的除尘装置，其特征在于：所述两个通槽关于所述外罩中心呈对称分布。
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