[实用新型]晶体硅太阳能电池片链式传送的平行滚轮装置有效
申请号: | 201420025300.0 | 申请日: | 2014-01-16 |
公开(公告)号: | CN203644745U | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
发明(设计)人: | 张仲英;吕日祥;王斌;孔维兴 | 申请(专利权)人: | 浙江绿远光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 周涌贺 |
地址: | 323400 浙江省丽*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶体 太阳能电池 链式 传送 平行 滚轮 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及晶体硅太阳能电池片加工装置,尤其是一种晶体硅太阳能电池片制绒及湿法刻蚀链式传送滚轮所使用的平行滚轮装置。
背景技术
在目前的晶硅的生产工艺中,使用化学品的化学槽的传送滚轮主要有一种:就是靠凸出的部份,与硅片相接触并作为传送动力。
太阳能电池片的绒面好坏,很大的程度上影响了多晶硅电池的转换效率以及外观的良品率。绒面的质量主要由绒面整体的均匀性及光的反射率两个参数来表征。绒面的发展方向是绒面颗粒小而多,而且需要均匀的分布在硅片整体的表面。因为当绒面颗粒大小不均匀时,除了硅片表面的反射率提高外,经过气相沉积所镀上的氮化硅膜也会不均匀,因此造成颜色不均一及色差等问题。然而小而均匀的硅片绒面颗粒可以有效的降低硅片的反射率,增加光线的吸收,提高短路电流,从而提高转换效率。绒面越均匀,越有利于后续的氮化硅气相沉积工艺,颜色越均匀,对于氮化硅的膜厚的控制也越有利,减少了外观不良片,降低返工片,有效提升太阳能电池片的光电转换率。
当前太阳能电池片制造时所使用的化学槽传送滚轮,在传送点与硅片接触的位置,一般容易造成硅片表面有“滚轮印”。其实所谓的滚轮印,其形成原因是滚轮与硅片接触的区域不能与化学溶液接触,降低了电池片制绒效果,与滚轮接触和未与滚轮接触的硅片绒面不一样,而造成后续工续的颜色差异,同时也降低了太阳能电池片的光电转换率。
在传送硅片的过程中,滚轮是用来支撑并传送硅片,因此滚轮与硅片接触是必须的,目前为达到更好的植绒效果,采用减小滚轮与硅片的接触面积,如专利号为201220591109.3的一种传送滚轮及化学腐蚀装置,该装置中传送滚轮的横截面为齿轮状,减少了在传送过程中传送滚轮与硅片的接触面积,这样只能起到减小绒面破坏的面积,而且该结构中传送滚轮与普通圆柱形滚轮相比,其与硅片的接触面积差不多,并无改善。
如专利号为201220425433.8的用于输送异质结太阳能电池片的传送带,包括传送辊和载物带,载物带两边设有若干支撑柱,支撑柱用于支撑硅片,支撑柱相对于传送辊或载物带而言,减小了与硅片的接触面积。
综上所提供的现有技术中,均是采用减小与硅片的接触面积来减小电池片绒面的破坏,只能做到减小电池片植绒的破坏面积。但是在减小接触面的情况下,用于支撑硅片的面积也要达到硅片总面积的5%以上,该接触区域在传送过程中因未能与化学溶液接触,留有滚轮印,降低了太阳能电池片的光电转换率。
实用新型内容
本实用新型要解决上述现有技术的缺点,提供一种晶体硅太阳能电池片链式传送的平行滚轮装置,不仅减小滚轮与硅片的接触面积,而且在输送过程中不停地变动支撑位置,使硅片表面的绒面完全分布。
本实用新型解决其技术问题采用的技术方案:这种晶体硅太阳能电池片链式传送的平行滚轮装置,包括一排平行设置在化学槽内的滚轮,滚轮的表面设有间隔分布的凸点,相邻的凸点之间形成下凹区域,同一滚轮上的凸点交错分布,一排滚轮上的凸点在传送方向上均不在同一直线上。该结构在不需修改任何链式设备的同时,只需更改传送的滚轮装置便可以完成。这种晶体硅太阳能电池片链式传送的平行滚轮装置采用防酸碱的塑料材料,材料所制备的平行滚轮上有等距及分布均匀的小小凸点。平行滚轮上的凸点是与硅片接触的位置,此一小凸点除了可以起传送的功能作用外,这些凸点另一个作用就是在凸点与凸点形成下凹区域,使硅片与滚轮之间留有空隙可以让化学溶液透过,进而保证化学溶液渗入硅片表面充分反应,防止滚轮印形成。同时在输送的过程中,由于凸点在滚轮上转动时高度在变化,因此会产生高度差,高度差太大在转动时会产生较大冲撞硅片的力,同一滚轮上的凸点交错分布,这样可减小相邻凸点替换产生的高度差,减小碰撞,使凸点与硅片接触更轻,更好地保护硅片表面;一排滚轮上的凸点在传送方向上均不在同一直线上,这样凸点支撑在硅片下表面的位置在不停地变动,不会重复支撑在相同位置上,这样使起初支撑的接触面露出并与化学溶液充分反应,这样可以达到无滚轮印的出现。
为了进一步完善,相邻的凸点左右间隔为1~30mm。相邻的凸点前后间隔为1~30mm。凸点的高度为1~20mm。与此同时,凸点可为任意形状,凸点可以为圆柱体、长方体或半球体结构。
滚轮的两端设有安装头,安装头上设有用安装的L形卡槽。平行滚轮一头的安装头可设计卡槽,可根据不同的设备来更改,另一头的活动性滚轮安装头也可以根据不同的设备来作修改。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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