[发明专利]一种导模法生长微孔蓝宝石晶体的生长方法在审
| 申请号: | 201410765560.6 | 申请日: | 2014-12-15 |
| 公开(公告)号: | CN104532342A | 公开(公告)日: | 2015-04-22 |
| 发明(设计)人: | 王东海;徐祥奇;钱梅仙;杜小红;张寒贫;朱雁风;舒畅;闫杰 | 申请(专利权)人: | 江苏苏博瑞光电设备科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/34 | 分类号: | C30B15/34;C30B29/20 |
| 代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
| 地址: | 221200 江苏省徐*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 导模法 生长 微孔 蓝宝石 晶体 方法 | ||
1.一种导模法生长微孔蓝宝石晶体的生长方法,其特征在于,包括以下步骤:
S01,组装模具:模具开毛细缝,毛细缝内等距离填塞直径为0.5mm以下的钼丝或钨丝若干根,钼丝或钨丝露出模具顶面1 mm~10mm,固定钼丝或钨丝,使钼丝或钨丝竖直设置;
S02,装炉:选用M向或C向籽晶,将籽晶固定在籽晶夹头上,装入钼坩埚5kg~7kg焰熔法碎料,模具口放料粒;
S03,抽真空及充氩气:关闭炉门,开启机械泵进行抽真空,真空度达到3Pa ~ 10Pa 时关闭真空设备,充氩气至标准大气压;
S04,升温:打开加热电源升温到2100℃~2300℃,使模具口料粒熔化;
S05,引晶:待模具口的料粒熔化后将籽晶摇下,对籽晶进行烤晶后进行引晶,使籽晶块与熔体熔接,并向上以5mm/h~20mm/h提拉籽晶;
S06,放肩:将籽晶杆提拉速率调至放肩限定速度,通过放肩降温使晶体沿着籽晶从模具中间向外生长;
S07,等径生长:放肩结束后,进行等径生长,提高拉速到30 mm/h~40mm/h;
S08,降温:拉脱晶体脱离模具,开始降温,10h以后降到室温出炉。
2.根据权利要求1所述的一种导模法生长微孔蓝宝石晶体的生长方法,其特征在于,所述放肩限定速度为20mm/h~30mm/h。
3.根据权利要求1所述的一种导模法生长微孔蓝宝石晶体的生长方法,其特征在于,所述模具为平模具或者斜角模具。
4.根据权利要求1所述的一种导模法生长微孔蓝宝石晶体的生长方法,其特征在于,所述模具材质为钼或者钨或者铱。
5.根据权利要求1所述的一种导模法生长微孔蓝宝石晶体的生长方法,其特征在于,所述步骤S01毛细缝内等距离填塞直径为0.5mm以下的钼丝或钨丝3~15根。
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