[发明专利]流体供给控制装置

说明书

本发明的目的在于保持良好的可维护性，并且使装置进一步小型化或集成化。本发明的流体供给控制装置具有流路块和多个模块。多个模块包括至少一个相对于流路块能够拆装的拆装模块，沿预定的排列方向呈大体直线状地配置。在流路块中形成有连接流路和一对内螺纹部。一对内螺纹部被设置为能够以任意拆装的方式安装拆装模块。连接流路被设置为连接不同的模块之间。沿在流路块中的流体的流通方向，也就是沿排列方向呈大体直线状地配置连接流路和内螺纹部。

技术领域

本发明涉及流体供给控制装置，该流体供给控制装置具有在内部形成有流体的流路的流路块，以及安装在该流路块上的多个模块。

背景技术

这种装置例如作为在半导体制造工序中的气体供给装置所使用。具体地，例如，在由下述专利文献1公开的气体供给单元中，多个流体控制器件(流体控制阀或流量控制器等)通过螺栓被固定在内部形成有气体流路的流路块上。另外，这些多个流体控制器件沿流路块的长度方向呈一列地配置。

可是，用于半导体制造工序中的上述气体供给装置也有被构成为供给多种气体的情况。在这种情况下，并排地设置多个上述气体供给单元(例如参照下述专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国专利申请公开公报“特开2001-227657号”

专利文献2：日本国专利申请公开公报“特开2006-46494号”

发明内容

发明所要解决的问题

在这种装置(特别是如上所述的用于半导体制造工序的气体供给装置)中，要求保持良好的可维护性(maintainability)，并且使装置进一步小型化或集成化。本发明是鉴于上述示例的情况而做出的。

解决问题所采用的手段

本发明的流体供给控制装置具有流路块和多个模块。所述流路块的内部形成有流体的流路。多个所述模块被安装在所述流路块上。具体地，沿预定的排列方向呈大体直线状地配置多个所述模块。典型地，所述模块是流体控制阀或流量控制器等流体控制器件。另外，多个所述模块之中的至少一个是相对于所述流路块能够拆装的拆装模块。

所述流路块中形成有作为所述流路的连接流路和一对内螺纹部。一对所述内螺纹部被设置为以能够任意拆装的方式安装所述拆装模块。所述连接流路被设置为连接不同的所述模块。另外，在本说明书中，“任意拆装”不单纯指“能够拆装”，还包括该流体供给控制装置的维护责任人能够通过比较简单的拆装操作(螺栓的螺纹固定或解除其螺纹固定等)而容易地拆装。

本发明第一结构的特征为，所述流路块中，在所述排列方向上排列的多个所述模块形成为不可分离的一个整体，并且沿所述排列方向(典型地，与所述排列方向平行)呈大体直线状地配置所述连接流路和所述内螺纹部。这里，所述排列方向与所述流路块中的所述流体的流通方向平行。另外，典型地，所述连接流路沿该排列方向形成，以使得所述流体向所述排列方向流通。即，典型地，所述流路块的结构为，使所述流体向所述排列方向(与所述排列方向平行的方向)流通。

如果使用上述第一结构，则对于一个所述流路块向所述排列方向排列多个所述模块并安装。特别地，通过一对所述内螺纹部相对所述流路块以能够任意拆装的方式安装(固定)多个所述模块之中的所述拆装模块。另外，多个所述模块之间通过所述连接流路连接。

可是，在现有技术中，为了将所述模块(例如流体控制阀)固定在所述流路块上，使用4根螺栓。上述4根螺栓以在平面视角看呈大体矩形配置的状态下与所述流路块螺纹固定。因此，在上述现有技术中，为了对应该4根螺栓的配置而设置凸缘部或螺纹孔，有如下限制，即需要以平面视角看预定的区域。因此，在现有技术中，无论将所述模块的宽度降到多小，缩小装置整体的宽度尺寸也有界限。极端地说，将所述模块的宽度减小到极限时，产生螺纹孔从所述模块的宽度露出的情况。