[发明专利]流体供给控制装置

权利要求书

1.一种流体供给控制装置，具有：流路块，在内部形成有流体的流路；以及多个模块，安装在所述流路块上，其特征在于，

多个所述模块包括至少一个相对于所述流路块能够拆装的拆装模块，

所述流路块中，

沿与所述流路块中的所述流体的流通方向平行的多个所述模块的排列方向，配置有一对内螺纹部和作为所述流路的连接流路，其中，一对所述内螺纹部被设置为以能够任意拆装的方式安装所述拆装模块，所述连接流路被设置为连接不同的所述模块且大体为U字形，一对所述内螺纹部和所述连接流路以平面视角看的中心位于特定直线上，

在所述排列方向上排列的多个所述模块形成为不可分离的一个整体。

2.如权利要求1所述的流体供给控制装置，其特征在于，

所述内螺纹部被形成为在所述流路块的表面上开口的非贯通孔，以使所述拆装模块被安装在所述流路块的表面上，

所述连接流路被形成为在所述非贯通孔的深度方向上绕过所述内螺纹部。

3.如权利要求1所述的流体供给控制装置，其特征在于，

在多个所述模块中具有：

流体控制阀，被构成为能够切换所述流体的流通和截断，以及

流量控制器，被构成为控制所述流体的流量，

在所述流路块中形成有用于以能够任意拆装的方式安装作为所述拆装模块的所述流体控制阀的一对所述内螺纹部，以及用于以能够任意拆装的方式安装作为所述拆装模块的所述流量控制器的一对所述内螺纹部。

4.如权利要求2所述的流体供给控制装置，其特征在于，

在多个所述模块中具有：

流体控制阀，被构成为能够切换所述流体的流通和截断，以及

流量控制器，被构成为控制所述流体的流量，

在所述流路块中形成有用于以能够任意拆装的方式安装作为所述拆装模块的所述流体控制阀的一对所述内螺纹部，以及用于以能够任意拆装的方式安装作为所述拆装模块的所述流量控制器的一对所述内螺纹部。

5.如权利要求3或4所述的流体供给控制装置，其特征在于，

2个所述流体控制阀的驱动器经由共同的安装块被安装在所述流路块上。

6.如权利要求5所述的流体供给控制装置，其特征在于，

在所述安装块的内部中，形成有供第一流体流入的第一入口流路、供所述第一流体流出的第一出口流路、连通所述第一入口流路和所述第一出口流路的第一阀室、供第二流体流入的第二入口流路、供所述第二流体流出的第二出口流路、以及连通所述第二入口流路和所述第二出口流路的第二阀室，

驱动一侧的所述流体控制阀的阀体以连通或截断所述第一阀室和所述第一出口流路，驱动另一侧的所述流体控制阀的阀体以连通或截断所述第二阀室和所述第二出口流路，所述第一出口流路和所述第二出口流路连通。

7.如权利要求5所述的流体供给控制装置，其特征在于，

在与所述排列方向正交的方向上，所述安装块的宽度与所述流体控制阀的宽度大体相同。

8.如权利要求1所述的流体供给控制装置，其特征在于，

在多个所述模块中具有：

流体控制阀，被构成为能够切换所述流体的流通和截断，以及

流量控制器，被构成为控制所述流体的流量，

在所述流路块中形成有用于以能够任意拆装的方式安装作为所述拆装模块的所述流量控制器的一对所述内螺纹部，

所述流体控制阀不通过所述内螺纹部而与所述流路块形成一个整体。

9.如权利要求2所述的流体供给控制装置，其特征在于，

在多个所述模块中具有：

流体控制阀，被构成为能够切换所述流体的流通和截断，以及

流量控制器，被构成为控制所述流体的流量，

在所述流路块中形成有用于以能够任意拆装的方式安装作为所述拆装模块的所述流量控制器的一对所述内螺纹部，

所述流体控制阀不通过所述内螺纹部而与所述流路块形成一个整体。