[发明专利]一种超低损耗反射镜镀膜基板节瘤缺陷预处理方法无效
| 申请号： | 201410717405.7 | 申请日： | 2014-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN104498887A | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 刘华松;姜承慧;宗杰;刘丹丹;季一勤;王利栓;姜玉刚;赵馨 | 申请（专利权）人： | 中国航天科工集团第三研究院第八三五八研究所 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;C23C14/02 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心11011 | 代理人： | 刘东升 |
| 地址： | 300308天津市东*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 损耗 反射 镀膜 基板节瘤 缺陷 预处理 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种超低损耗反射镜镀膜基板节瘤缺陷预处理方法，其特征在于，其包括如下步骤：
步骤S1：配置稀盐酸溶液，将镀膜基片放置于稀盐酸溶液中加热至沸腾，清洗一定时间后，用不低于90℃的去离子水超声清洗镀膜基板；
步骤S2：配置过氧化铵溶液，将镀膜基片放置于过氧化铵溶液中加热至沸腾，清洗一定时间后，用不低于90℃的去离子水超声清洗镀膜基板；
步骤S3：配置过氧化氢溶液，将镀膜基片放置于过氧化氢溶液中加热至沸腾，清洗一定时间后，用不低于90℃的去离子水超声清洗镀膜基板；
步骤S4：用不低于90℃的去离子水刷洗基片表面，高速离心干燥基片；
步骤S5：将镀膜基板成盘放置在离子束溅射镀膜机内，用离子束对基板表面进行处理；
步骤S6：用不低于90℃的去离子水刷洗基片表面，高速离心干燥基片，完成整个镀膜基板的清洗。
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