[发明专利]梳形光栅的制备方法

权利要求书

1.一种梳形光栅的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

(1)对金属待加工件表面进行抛光，得到初制件；

(2)在初制件的一个侧面上等间距地加工出多个凹槽，得到梳形光栅初坯A1；

(3)将梳形光栅初坯A1在电解液中进行电镀，得到梳形光栅毛坯A2，所述梳形光栅毛坯A2的凹槽的槽宽等于预设槽宽，所述梳形光栅毛坯A2的凹槽的槽深等于预设槽深；

(4)将梳形光栅毛坯A2进行打磨，得到梳形光栅。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)中的加工方法为线切割、电火花切割和铣切割中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)中梳形光栅初坯A1的槽宽不小于预设槽宽。

4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，步骤(2)中h≥h₀；

h为梳形光栅初坯A1的槽深，h₀为所述预设槽深。

5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中所述电镀层的厚度为

d为所述梳形光栅初坯A1的槽宽，d₀为所述预设槽宽，η为预设值。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，电镀的方法包括以下公式：

T=n×s×d×ρ×QM×I×η;]]>其中，

T为电镀时间；n为金属离子被还原成金属单质所需要的电子数；s为梳形光栅初坯A1的表面积；d为梳形光栅初坯A1表面需要电镀的镀层厚度；ρ为金属单质的密度；Q为1mol电子的电量，为常量；M为金属单质的相对分子质量；I为电流密度；η为电流效率。

7.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中所述电解液中包括金属待加工件中的至少一种金属盐。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(3)中电镀温度为15-50℃。

9.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，步骤(4)还包括：将梳形光栅毛坯A2在打磨后通过水、酒精和有机溶剂进行清洗。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，将梳形光栅毛坯A2在打磨后顺次通过水、酒精、有机溶剂和水进行清洗。