[发明专利]一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置及方法

权利要求书

1.一种扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置，包括底座（9），其特征在于，所述底座（9）上设有样品台（3），所述样品台（3）上端均匀设有若干固定架（2），所述固定架（2）上端设有扫描探头（1），所述扫描探头（1）内部设有与探针相匹配的探针架（8），所述样品台（3）设置于所述探针架（8）的前端，并且所述样品台（3）内部设有可进行三维移动的样品移动装置（4），所述样品移动装置（4）内设有扫描器（5），所述扫描器（5）连接有位于所述样品移动装置（4）内部的Z向移动导轨（6），并且所述样品移动装置（4）还设有相匹配的控制装置。

2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置，其特征在于，所述控制装置包括控制样品移动装置（4）进行水平移动的手动控制器以及控制样品移动装置（4）在Z向移动导轨（6）内移动的微型伺服电机（7），所述微型伺服电机（7）设置于所述Z向移动导轨（6）的下端。

3.根据权利要求1或2所述的扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置，其特征在于，所述固定架（2）的数目为三个。

4.根据权利要求3所述的扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置，其特征在于，所述三个固定架（2）呈三角形排布。

5.一种如权利要求1所述的扫描探针显微镜的探针与样品趋近装置的趋近方法，其特征在于，包括以下步骤：

将待检测的探针固定在探针架（8）上，然后保持探针的位置不变；

将待测的样品放置在样品台（3）上端的扫描器（5）上，通过控制装置控制样品移动装置（4）在水平方向和Z向轨道内进行移动，直到移动到与探针达到预计的位置处停止。

6.根据权利要求5所述的趋近方法，其特征在于，所述控制装置包括控制样品移动装置（4）进行水平移动的手动控制器以及控制样品移动装置（4）在Z向移动导轨（6）内移动的微型伺服电机（7），所述微型伺服电机（7）设置于所述Z向移动导轨（6）的下端。

7.根据权利要求5或6所述的趋近方法，其特征在于，所述固定架（2）的数目为三个。

8.根据权利要求7所述的趋近方法，其特征在于，所述三个固定架（2）呈三角形排布。