[发明专利]化学强化玻璃基板的加工方法

说明书

本发明提供化学强化玻璃基板的加工方法以及供于该加工方法的化学强化玻璃基板，该加工方法是在化学强化玻璃基板的表面使用感光性树脂组合物形成蚀刻掩模后对化学强化玻璃基板的表面实施蚀刻加工的方法，该加工方法能够从化学强化玻璃基板的表面快速地除去蚀刻掩模而几乎不产生蚀刻掩模的残渣。在对具备使用感光性树脂组合物所形成的蚀刻掩模的化学强化玻璃基板进行蚀刻加工时，使用实施蚀刻的面的、从表面至深度10μm的表层的钠和钾的元素成分比率总和为13质量％以下的化学强化玻璃基板。

技术领域

本发明涉及化学强化玻璃基板的加工方法以及供于该加工方法的化学强化玻璃基板。

背景技术

触摸面板通过在隔着间隔物而对置的玻璃基板与膜材的对置面上分别成膜ITO等透明导电物质而构成。在该触摸面板中，膜材的接触位置以坐标信息的形式被检出。

另外，最近，也提出触摸面板一体型的液晶显示器。其是构成液晶显示器的2片玻璃基板中的一片兼作触摸面板的玻璃基板的显示器，该液晶显示器在实现薄型化及轻量化上非常有效。

以往，作为此种玻璃基板的加工方法，通常采用的是物理方法，但是存在加工时容易出现裂纹、强度降低或成品率变差的问题。

为此，近年，提出以将感光性树脂组合物图案化而得到的树脂图案作为掩模而对玻璃基板进行蚀刻加工的化学方法(例如参照专利文献1及2)。根据这样的化学方法，在加工时不会受到物理性质的负荷，所以不易出现裂纹。另外，与物理方法不同，也可以对玻璃基板进行麦克风或扬声器用的开孔加工。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008－076768号公报

专利文献2：日本特开2010－072518号公报

发明内容

发明所要解决的课题

对于如上所述的方法而言，从强度的方面出发，大多使用化学强化玻璃基板作为玻璃基板。但是，在专利文献1及2所记载的方法中存在如下问题：在将这些方法应用于化学强化玻璃基板的加工时，使用感光性树脂组合物所形成的蚀刻掩模从玻璃基板表面的剥离需要较长时间，或者在蚀刻掩模的剥离后容易在玻璃基板表面残留大量的残渣。该问题在感光性树脂组合物所含的高分子化合物具有羟基或羧基时变得尤为显著。

因此，当在专利文献1及2中记载的方法中使用化学强化玻璃基板时，即使成品率提高，也会导致制品的生产率极度地降低。

本发明鉴于上述的课题而完成，其目的在于提供化学强化玻璃基板的加工方法以及供于该加工方法的化学强化玻璃基板，该加工方法是在化学强化玻璃基板的表面使用感光性树脂组合物形成蚀刻掩模后，对化学强化玻璃基板的表面实施蚀刻加工的方法，该加工方法能够从化学强化玻璃基板的表面快速地除去蚀刻掩模而几乎不产生蚀刻掩模的残渣。

用于解决课题的手段

本发明人等发现可以通过使用如下的化学强化玻璃基板来解决上述的课题，以至完成本发明。所述化学强化玻璃基板如下：在对具备使用感光性树脂组合物所形成的蚀刻掩模的化学强化玻璃基板进行蚀刻加工时，被实施蚀刻的面的、从表面至深度10μm的表层的钠和钾的元素成分比率总和为13质量％以下。

本发明的第一方案涉及一种化学强化玻璃基板的加工方法，所述化学强化玻璃基板的维氏硬度为500kgf/mm²以上，

该加工方法包括：

涂布膜形成工序，在化学强化玻璃基板形成由感光性树脂组合物形成的涂布膜；

曝光工序，位置选择性地对涂布膜进行曝光；

蚀刻掩模形成工序，对被曝光后的涂布膜进行显影，得到图案化为所需形状的蚀刻掩模；