[发明专利]一种微量水分传感器标定方法及在线标定装置有效
| 申请号: | 201410663397.2 | 申请日: | 2014-11-19 |
| 公开(公告)号: | CN104374880A | 公开(公告)日: | 2015-02-25 |
| 发明(设计)人: | 张德龙;李春风 | 申请(专利权)人: | 威格高纯气体设备科技(苏州工业园区)有限公司 |
| 主分类号: | G01N33/00 | 分类号: | G01N33/00 |
| 代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 何蔚 |
| 地址: | 215026 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 微量 水分 传感器 标定 方法 在线 装置 | ||
1.一种微量水分传感器标定方法,其特征在于,所述微量水分传感器标定方法是以密闭空间内水分含量的变化值为理论值,以与密闭空间相连的微量水分传感器的读数为测量值,将测量值与理论值对比从而完成微量水分传感器的标定。
2.如权利要求1所述的微量水分传感器标定方法,其特征在于,将已知体积的参比样注入已知体积密闭空间中,密闭空间中的水分含量变化用公式计算得出,即是理论值;微量水分传感器上的读数为测量值;将理论值与测量值相比较,即可完成对微量水分传感器的标定。
3.如权利要求2所述的微量水分传感器标定方法,其特征在于,对于气体参比样,所述公式是ΔCt=Cs×Vs/Vg;
其中,ΔCt是密闭空间内水分含量变化的理论值;
Cs是参比样中的水分含量;
Vs是注入的参比样的量;
Vg是密闭空间的体积。
对于液体参比样,所述公式是
其中,ΔCt是密闭空间内水分含量变化的理论值;
Ms是参比样中的水分含量;
是参比样的密度;
Vs是注入的参比样的体积量;
Mw是水的分子量;
Vm是气体摩尔体积;
Vg是密闭空间的体积。
4.一种微量水分传感器在线标定装置,用于向密闭空间中单次或多次注入定量的参比样,所述微量水分传感器在线标定装置设有进样口和出样口,所述出样口与所述密闭空间密封连接,所述微量水分传感器在线标定装置还包括:
参比样存储室,与所述进样口连接,用于提取及储存定量的参比样;
参比样转运装置,用于将所述参比样存储室中的参比样转运到密闭空间中;
参比样生成装置,用于生成已知浓度的参比样,所述参比样生成装置与所述参比样存储室连通。
5.如权利要求4所述的微量水分传感器在线标定装置,其特征在于,所述参比样转运装置包括:注样器活塞,包括活塞杆和设置于活塞杆上的两个活塞盘,所述两个活塞盘与参比样存储室内壁密封匹配,所述两个活塞盘及参比样存储室内壁组成定量参比样的提取和存储空间;
参比样存储室,一端开口作为出样口设置于密闭空间中,另一端与所述参比样生成装置串联或一体成型,其内壁尺寸与所述两个活塞盘密封匹配,所述参比样存储室的长度大于或等于两个活塞盘之间的距离。
6.如权利要求4所述的微量水分传感器在线标定装置,其特征在于,所述参比样转运装置包括:注样器活塞,包括活塞杆和设置于活塞杆上的活塞盘,所述活塞盘与参比样存储室内壁密封匹配,所述活塞盘及参比样存储室内壁组成定量参比样的提取和存储空间;
所述参比样存储室的另一端与所述出样口连接,所述进样口和出样口均设置有单向阀门,当活塞盘位于参比样存储室底部或由出样口端向参比样存储室底部移动时,进样口单向阀门开启,同时出样口单向阀门关闭;当活塞盘由参比样储存室底部向出样口移动时,进样口单向阀门关闭,同时出样口单向阀门开启。
7.如权利要求4所述的微量水分传感器在线标定装置,其特征在于,所述参比样存储室包括参比样定量器、参比样入口、前级三通阀门、参比样出口、后级三通阀门;所述前级三通阀门出口与所述参比样定量器一端连通,所述参比样定量器的另一端与所述后级三通阀门进口连通,所述后级三通阀的一个出口与密闭空间的入口阀门连通,所述后级三通阀门的另一个出口与参比样出口连通,所述前级三通阀门的一个入口与参比样入口连通;
所述参比样转运装置包括惰性气体泵站和惰性气体入口,所述惰性气体入口与所述前级三通阀门的另一个入口连接;
所述密闭空间的入口设置有阀门。
8.如权利要求4所述的微量水分传感器在线标定装置,其特征在于,所述微量水分传感器在线标定装置还包括参比样进口阀门和参比样出口阀门,所述参比样进口阀门和参比样出口阀门与参比样存储装置相连接。
9.如权利要求4~8任一所述的微量水分传感器在线标定装置,其特征在于,所述微量水分传感器在线标定装置安装在手套箱上。
10.一种手套箱,其特征在于,所述手套箱安装有如权利要求4~8任一所述的微量水分传感器在线标定装置。
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