[发明专利]校正板及其时序校正方法

说明书

本发明公开一种校正板和一种时序校正方法，校正板可插拔地设置于自动测试设备中，用以校正自动测试设备中多个测试信道的信号延迟，校正板包含多个校正群组、一第一共同节点和一切换模块，每一校正群组包含一第二共同节点和电性连接第二共同节点的多个导电接垫，每一导电接垫选择性地电性连接其中一个测试通道，切换模块连接第一共同节点和这些第二共同节点之间，当第一延迟校正程序被执行时，切换模块切断第一共同节点与这些第二共同节点间的连结，当第二延迟校正程序被执行时，切换模块致能第一共同节点与这些第二共同节点间的连结。

技术领域

本发明涉及一种自动测试设备，特别是一种可插拔地设置于自动测试设备中，用以校正自动测试设备中的测试信道的信号延迟的校正板及其时序校正方法。

背景技术

自动测试设备允许半导体装置制造商大量地测试于市场上贩卖的每一个组件的功能。一般而言，自动测试设备是输出驱动信号至一个受测组件，然后侦测由此受测组件回馈的信号，并将侦测出的值与期望的值作比较。

目前的半导体组件通常包含数百至数千个之间的接脚(Pin)，以接收及送出许多输入或输出信号。由于每一个接脚对应一待测试功能(Function to be tested)，因此自动测试设备可以通过多个功能板(Function Board)来分别测试待测半导体组件的接脚所对应的多个待测试功能。

然而，每一个功能板到待测半导体组件的接脚的信号路径(即信道)长短不同，并且路径长短不同可能会造成待测半导体组件的接脚与对应的功能板之间信号传递上的延迟，因此自动测试设备会在测试待测半导体组件的待测试功能之前，先校正接脚与对应的功能板之间的信号延迟。

此外，接脚所对应的通道的选择是通过多个切换组件所构成的数组来执行，因此当通道越多，所需的切换组件就越多。因此需要一个有效又节省成本的校正板及其时序校正方法。

发明内容

有鉴于以上的需求，本发明提出一种校正板及其时序校正方法，以有效地校正或补偿接脚与对应的功能板之间信号传递上的发射延迟和接收延迟，以及降低设备所花费的成本。

根据本发明的一或多个实施例的一种校正板(Calibration board)，其可插拔地设置在一自动测试设备(Automatic test apparatus)中，用以校正自动测试设备中的多个测试信道(Test channel)的信号延迟。在其中一实施例中，校正板包含一第一共同节点、多个校正群组和一切换模块。每一校正群组中包含一第二共同节点(Common node)和与此第二共同节点电性连接的多个导电接垫(Conductive pad)。每一导电接垫选择性地电性连接这些测试通道的其中一个测试通道。切换模块连接第一共同节点和这些第二共同节点之间。当一第一延迟校正程序被执行时，切换模块切断第一共同节点与这些第二共同节点间的连结。当一第二延迟校正程序被执行时，切换模块致能第一共同节点与这些第二共同节点间的连结。

在校正板的其中一实施例中，切换模块为一开关数组，开关数组提供多个切换路径，每一切换路径选择性地将这些第二共同节点的其中一个第二共同节点电性连接于第一共同节点。

在校正板的其中一实施例中，切换模块为一继电器数组。

在校正板的其中一实施例中，更包含一延迟侦测模块。延迟侦测模块电性连接第一共同节点和这些测试通道。在第一延迟校正程序中，延迟侦测模块侦测同一个校正群组电性连接的测试信道间的信号延迟，使同一个校正群组电性连接的测试通道被同步。然后，在第二延迟校正程序中，延迟侦测模块侦测这些校正群组间的信号延迟，使这些校正群组被同步。