[发明专利]一种真空探针台探测方法

权利要求书

1.一种真空探针台探测方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤1：上片；步骤2：抽真空；步骤3：输入特殊气体；步骤4：第一次测试，通过三维座调整测试针到待测焊盘，读取测试仪结果；步骤5：输入氮气；步骤6：打开腔体端盖，取出测试晶圆。

2.如权利要求1一种真空探针台探测方法，其特征在于：所述的上片的步骤为：打开腔体端盖，将承片盘清洁干净，避免杂质影响晶圆的平整度，然后用镊子将晶圆放在承片盘上，固定晶圆，调整三维座，使探针座针尖处于待测芯片上方，盖上并锁紧端盖；打开图像软件，调整倍率、工作距离、光源亮度强弱，使图像清晰显示于显示器上。

3.如权利要求1一种真空探针台探测方法，其特征在于：所述的抽真空的步骤为：打开真空阀门，关闭其它阀门，打开真空计电源，打开真空泵；达到要求真空度后，关闭真空输入阀门，关闭真空泵。

4.如权利要求1一种真空探针台探测方法，其特征在于：所述的输入特殊气体的步骤为：将特殊气体管路与特殊气体输入阀门可靠连接，打开特殊气体输入阀门，观察复合真空计上数，当真空腔内气压大于1×105Pa时，读数显示HHK，此时关闭特殊气体输入阀门。

5.如权利要求1一种真空探针台探测方法，其特征在于：所述的输入氮气的步骤为：测试完成后，打开废气排出阀门，打开氮气输入阀门，将真空腔中特殊气体排出后，关闭氮气输入阀门和废气排出阀门。