[发明专利]一种利用电子束固结纳米材料的方法在审

申请号：	201410487532.2	申请日：	2014-09-22
公开（公告）号：	CN104372334A	公开（公告）日：	2015-02-25
发明（设计）人：	罗洪文;曹晨雷;肖峰	申请（专利权）人：	江苏达胜加速器制造有限公司
主分类号：	C23C24/08	分类号：	C23C24/08;B82Y30/00;B82Y40/00
代理公司：	南京纵横知识产权代理有限公司 32224	代理人：	董建林
地址：	215214 江苏省苏州***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	一种利用电子束固结纳米材料方法
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【说明书】：

技术领域

本发明涉及一种利用电子束固结纳米材料的方法，属于纳米材料的加工技术领域。

背景技术

纳米材料是指在三维空间中至少有一维处于纳米尺度范围(1-100nm)或由它们作为基本单元构成的材料，其尺寸小也带来了性能上的优异之处，在将其应用于电子产品上时表现出更好的电学性能，因此，纳米材料作为一种新兴的功能材料在电子领域获得了广泛的应用和研究。现有技术中一般采用高温沉积法将纳米材料固结于基材表面，但是高温处理过程通常会导致基材变形翘曲，造成产品的质量缺陷，而且工艺过程中用到众多有机溶剂等，环境污染较大。鉴于上述原因，迫切需要一种取而代之的方法来固结纳米材料。

发明内容

为解决现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种利用电子束固结纳米材料的方法，尤其适用于固结纳米银材料，产品质量稳定可靠。

为了实现上述目标，本发明采用如下的技术方案：

一种利用电子束固结纳米材料的方法，其特征在于，包括如下步骤

S1、在基材上涂布一层纳米银浆料涂层，涂层厚度为1-15微米，低温干燥使浆料中的溶剂挥发，干燥温度为50-70℃；

S2、用电子束匀速扫射纳米材料涂层表面，照射时间不大于1秒，电子束剂量不小于100KGy；

S3、电子束照射后，纳米银浆料涂层发生固结，转化为完整的固态膜。

前述基材为聚合物薄膜或薄片。

具体地，前述基材为聚酯薄膜或环氧树脂复合材料薄片。

前述步骤S2中，电子束剂量为150-180KGy。

优选地，前述纳米银浆料涂层厚度为2微米。

优选地，前述纳米银浆料涂层厚度为7微米。

我们知道，电子束是将电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压加速电场作用下被加速至很高的速度，再经透镜会聚作用后，形成的密集的高速电子流，具有高能量且能量值精确的特性。本发明创造性地将电子束的优良特性应用于纳米材料的固结技术领域中，在极短时间(1s)内即可使纳米银浆料从颗粒态转变为连续相的完整薄膜态，纳米材料的表面电阻大大下降，电导率大幅上升；而且加工过程条件温和、无高温、无污染、成本低、节能环保，电子束的能量被选择性地作用于纳米材料，不会因为高温导致基材变形，避免产品的质量缺陷。

附图说明

图1所示的是对照例1的AFM图；

图2所示的是实施例1的AFM图。

具体实施方式

以下结合具体实施例对本发明作具体的介绍。

原料和设备说明：本发明中无特殊说明，原料均为市购。

电子束是由专门的电子束发生设备产生的，如DD3.0-30/1200电子束加速器。

性能测试方法

本发明中，对基材是否变形、表面形貌及表面电阻(电导率)分别进行了测试，测试方法如下：

(1)、基材是否变形：目视；

(2)、表面电阻：采用Fluka万用表进行测试；

(3)、表面结构：采用原子力显微镜(AFM)进行测试，AFM的型号为Veco Nanoscope IIIa。