[发明专利]光学辅助量测装置及应用该装置的量测方法有效

专利信息
申请号: 201410482334.7 申请日: 2014-09-19
公开(公告)号: CN104748943B 公开(公告)日: 2018-09-21
发明(设计)人: 叶瀚楯;董建成 申请(专利权)人: 玉晶光电(厦门)有限公司
主分类号: G01M11/00 分类号: G01M11/00
代理公司: 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 代理人: 方惠春
地址: 361000 福建省厦*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 光学 辅助 装置 应用 方法
【说明书】:

发明涉及一种光学辅助量测装置包含一吸取单元及一承载单元。该吸取单元包括一本体、至少一贯穿设置于该本体的量测孔,及一设置于该本体内的气体流道。该量测孔具有形成于该本体表面且相反设置的一第一、二端口。该气体流道具有至少一形成于该本体表面临近该第二端口处的吸取口,及至少一形成于该本体表面的抽气接口。该本体表面临近该吸取口处形成一接触面。该承载单元包括一基板及至少一由该基板顶面向下凹陷形成的放置槽,该放置槽可用于放置该待测物。应用该装置的量测方法包含一准备步骤、一吸取步骤、一量测步骤及一脱离步骤。

技术领域

本发明涉及一种光学元件的量测,特别是指一种光学辅助量测装置及应用该装置的量测方法。

背景技术

参阅图1,传统的光学镜头9是组装好放置在托盘8内,接着进行光学特性的量测。由于光学镜头9的镜筒91后端的光学镜片通常较大,因此镜筒91的壁面很薄,而光学镜头9又是藉由镜筒91后端而放置于托盘8的抵靠面81上,因此托盘8的抵靠面81的精度必须很高才能确保光学镜头9放置时光轴I是垂直于托盘8延伸方向。

参阅图2,另一种托盘8是以塑料托盘82与玻璃83做结合,玻璃83能透光且玻璃83表面的平整度较高。

综上所述,由于光学镜头9与托盘8都是藉由本身的重量分别放置于托盘8内及测量平台(图未示)上,容易因为摆放位置不稳固而造成量测误差,因此量测的重复精度不高。

发明内容

因此,本发明的第一目的,即提供一种量测重复精准度高的光学辅助量测装置。

本发明的第二目的,则是提供一种应用上述装置的量测方法。

本发明所述的光学辅助量测装置,辅助对于至少一待测物进行光学量测,该光学量测辅助装置包含:一吸取单元,及一承载单元。

该吸取单元用于吸取该待测物,且包括一本体、至少一贯穿设置于该本体的量测孔,及一设置于该本体内的气体流道。该量测孔具有形成于该本体表面且相反设置的一第一端口及一第二端口。该气体流道具有至少一形成于该本体表面临近该第二端口处的吸取口,及至少一形成于本体表面的抽气接口。该本体表面临近该吸取口处形成一接触面。

该承载单元包括一基板及至少一由该基板顶面向下凹陷形成的放置槽,该放置槽可用于放置该待测物。

另外,本发明光学量测方法,应用如前述的光学量测辅助装置来进行,该光学量测方法包含以下步骤:

一准备步骤:将该待测物放置于该承载单元的放置槽内;

一吸取步骤:将该吸取单元的接触面靠近该待测物后,通过该抽气接口对该气体流道进行抽气,进而使得该吸取口产生吸力,藉此吸取该待测物;

一量测步骤:将该吸取单元连同所吸取的该待测物移入一量测设备,该量测设备透过该吸取单元的量测孔对吸附于该接触面的该待测物进行光学量测;及

一脱离步骤:于该量测步骤后,将该吸取单元连同所吸取的该待测物移至该承载单元上方,且进行该吸取单元与该承载单元间的对位,使得该吸取单元所吸取的待测物对准该承载单元的放置槽,接着下移该吸取单元将所吸取的待测物放置于该承载单元的放置槽内,最后停止对于该气体流道进行抽气,使得该待测物脱离该吸取单元。

本发明的功效在于:藉由该吸取单元主动且强力地吸取该待测物,在移动至该量测设备进行光学量测过程中,该待测物稳固地被吸附,使得量测稳定性较佳且重复量测精度高。

附图说明

本发明的其他特征及功效,在参照图式的较佳实施例中进一步详细说明及阐述,其中:

图1为现有一种托盘供光学镜头容置以进行光学量测的示意图;

图2为现有另一种托盘供光学镜头容置以进行光学量测的示意图;

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