[发明专利]静态存储器的检测设备及检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种静态存储器的检测设备及检测方法。

背景技术

现代信息技术都是围绕着一个场效应晶体管而展开的，器件的制造工艺一般都包含几百步的工序，主要可以分为光刻、刻蚀、清洗、薄膜生长和离子注入等几大主要的工艺模块。同时由于器件尺寸的不断缩小，生产制造过程的任何微小的异常都可能使得芯片整个失效，所以在生产过程中往往会配置相当数量的检测设备来及时发现制造工艺中的问题。

缺陷检测的基本原理是：缺陷检测设备通过扫描获取若干芯片的数据图形，然后再进行数据的比对，如图1a-1c所示，为三个相邻芯片的对比过程的示意图，图1a中表示为相邻的三个芯片A、B和C，通过在一次扫描过程中，对三个芯片的数据图形同时进行采集，然后，如图1b所示，通过芯片B和芯片A的比较得出有数据差异的位置x，再通过芯片B和芯片C的比较得出有数据差异的位置还是位置x，如图1c所示；那么这两个对比结果中，有数据差异的位置x就是芯片B上的缺陷位置。

特别是针对芯片中密度高且重复的电路结构，为了实现高精度的缺陷检测，通常采取的方法是对重复电路结构之间的进行数据比对，来确定缺陷的位置。但是，由于芯片本身设计的考虑，往往在同一个芯片上会有不同方向重复排列的静态存储器电路结构，如图2a-2b所示，图2a为水平方向上重复排列的静态存储器的示意图，图2b为竖直方向上重复排列的静态存储器的示意图，虚线隔开的区域表示重复的静态存储器。对于不同方向重复排列的静态存储器的缺陷检测，只能利用检测设备对各个方向分别进行扫描检测，这样不仅扫描检测的次数增加，而且对于不同方向重复排列的静态存储器不能进行对比，从而严重影响检测的效率，并使工艺成本大幅度增加。

发明内容

为了克服以上问题，本发明旨在提供一种静态存储器的检测设备及检测方法，从而实现利用检测设备在同一扫描检测过程中对不同方向排列的静态存储器能够同时进行数据对比，避免经历多次扫描检测而导致的效率下降和成本增加的问题。

为了实现上述目的，本发明提供了一种静态存储器的检测设备，其包括：检测模块、数据模块、和分析模块，其中，

检测模块，用于在一扫描方向下扫描并获取静态存储器的数据图形；

数据模块，用于存储检测模块获得的数据图形；

分析模块，用于调取所述数据模块中的重复排列的数据图形进行对比分析，找出发生数据异常的位置。

优选地，其还包括：方向转换模块，用于将非扫描方向上的重复排列的静态存储器的数据图形转换到扫描方向上；或将非扫描方向上的重复排列的静态存储器进行方向转换，使其转换到扫描方向上。

本发明提供一种静态存储器的检测方法，其采用上述的检测设备，所述检测方法包括：

将具有不同方向上重复排列的静态存储器的晶圆置于检测设备中；

确定对所述晶圆的扫描方向，并且检测模块沿所述扫描方向对所述晶圆开始进行扫描检测；

所述检测模块获取所述各个方向上重复排列的静态存储器的数据图形并存储到数据模块中；其中，在此过程中，分析模块调取所述数据模块中的在扫描方向上重复排列的静态存储器的数据图形进行对比分析，找出所述扫描方向上重复排列的静态存储器中发生数据异常的位置；

所述检测模块获取整个晶圆上的静态数据图形并存储到所述数据模块中后，分析模块调取所述数据模块中的所述非扫描方向上重复排列的静态存储器的数据图形进行对比分析，找出其发生数据异常的位置。

优选地，所述检测设备还包括方向转换模块；则所述检测模块获取完整个晶圆上的静态数据图形并存储到所述数据模块中后，还包括：

方向转换模块将非扫描方向上重复排列的静态存储器的数据图形转换到扫描方向上，并将其存储到所述数据模块中；

分析模块调取所述数据模块中的所述转换到扫描方向上的重复排列的数据图形进行对比分析，找出所述非扫描方向上重复排列的静态存储器中发生数据异常的位置。

本发明还提供了一种静态存储器的检测方法，其包括：

将具有不同方向上重复排列的静态存储器的晶圆置于检测设备中；

确定对所述晶圆的扫描方向，并且检测模块沿所述扫描方向对所述晶圆开始进行扫描检测；

检测模块获取所述各个方向上重复排列的静态存储器的数据图形，并将其存储到数据模块中；

方向转换模块将非扫描方向上重复排列的静态存储器的数据图形转换到扫描方向上；

分析模块调取所述数据模块中的在扫描方向上重复排列的数据图形进行对比分析，从而找出发生数据异常的位置。