[发明专利]一种应用于电子显微镜中的高稳定性扫描探针装置

权利要求书

1.一种将扫描透射电子显微镜和扫描探针显微镜的功能结合起来的全新设计方案；其设计原理在于：设计一个小型全压电陶瓷控制的三维空间精确定位装置，利用压电陶瓷的特性，通过外加脉冲电压驱动X，Y和Z方向上三个独立的步进马达，从而达到在有限的电镜样品空间内扫描探针的精确定位；此装置可以在扫描透射电子显微镜中控制和移动扫描探针，使得探针接近或接触样品的表面，从而获得样品表面成像；可有效避免探针对样品的破坏，可以使用探针在透射电子显微镜下施加控制电场，诱发反应和改变材料的性质。 

2.根据权利要求1所述的设计方案，构建一种系统，系统包括：三个独立的压电陶瓷控制的步进马达，控制X，Y和Z方向上探针的移动；此外，装置还包括压电陶瓷扫描管(图3)，用来扫描和超高精度精确定位扫描探针。 

3.根据权利要求2所述的压电陶瓷马达，其特点在于：任何压电陶瓷控制的移动定位装置，例如：惯性滑动压电陶瓷马达，尺蠖压电陶瓷马达等。 

4.根据权利要求2所述的压电陶瓷扫描管，其特点在于：任何形式的压电陶瓷扫描装置，需能在X，±Y和±Z方向上精确移动探针，移动精度可控。 

5.根据权利要求1所述的扫描探针，其特性在于：尖端形状和大小可控的金属探针。