[发明专利]衬底固持模块和包含所述衬底固持模块的衬底处理设备

权利要求书

1.一种衬底固持模块，其特征在于包括：

固持器，具有固持衬底的表面；以及

衬底固持单元，插入在所述固持器中，

其中所述衬底固持单元包括：

固持块，插入在所述固持器中且具有固持所述衬底的表面，

弹性变形膜片，安装在所述固持块上且具有通过所述固持块的表面而暴露的表面，以及

移动构件，设置在所述固持器中，其中所述移动构件的一端连接到所述固持块，且所述移动构件在与所述弹性变形膜片的变形方向相反的方向上移动所述固持块。

2.根据权利要求1所述的衬底固持模块，包括粘性卡盘，所述粘性卡盘设置在所述弹性变形膜片的至少一侧上且安装在所述固持块上以用粘着力固持所述衬底。

3.根据权利要求2所述的衬底固持模块，其中所述固持器具有供所述衬底固持单元插入的插入空间；

设置在所述插入空间中的所述移动构件的一端连接到所述固持块，且其另一端连接到所述固持器；且

所述固持块由所述移动构件在所述插入空间中向前移动到所述衬底，或在远离所述衬底的方向上向后移动。

4.根据权利要求3所述的衬底固持模块，其中所述移动构件包括：

主体，具有内部空间，其中所述主体的一端连接到所述固持块，且其另一端由所述固持器固持在所述插入空间中；

弹性构件，安装在所述主体中；以及

杆，具有插入在所述主体中且连接到所述弹性构件的一端，其中所述杆的另一端从所述主体突出且连接到所述固持块，且所述杆由所述弹性构件向前移动到所述衬底或在远离所述衬底的方向上向后移动。

5.根据权利要求4所述的衬底固持模块，其中所述弹性构件包括弹簧。

6.根据权利要求2所述的衬底固持模块，其中多个突出部形成在所述粘性卡盘的表面上。

7.根据权利要求1所述的衬底固持模块，包括真空孔，所述真空孔垂直地穿过所述固持器且具有通过固持所述衬底的所述固持器的所述表面而暴露的一端。

8.根据权利要求1到7中任一权利要求所述的衬底固持模块，其中所述固持器具有在所述固持器的延伸方向上相互间隔开的多个插入空间；且

所述衬底固持单元以多个来设置，分别安装在所述插入空间中。

9.根据权利要求8所述的衬底固持模块，其中所述真空孔以多个来设置，在多个衬底固持单元的外部设置在所述衬底固持单元之间的所述固持器上。

10.一种衬底处理设备，其特征在于包括：

腔室，具有内部空间，在所述内部空间中，上方衬底和下方衬底相互接合；

下方固持器，安装在所述腔室中，其中所述下方衬底放置在所述下方固持器上；

上方固持器，设置在所述下方固持器上方且面对所述下方固持器以固持所述上方衬底；以及

衬底固持单元，插入在所述上方固持器中且设有向固持所述上方衬底的所述上方固持器的一侧暴露的弹性变形膜片，其中所述衬底固持单元具有弹力以使得所述衬底固持单元在与所述弹性变形膜片的变形方向相反的方向上移动。

11.根据权利要求10所述的衬底处理设备，其中所述衬底固持单元包括：

固持块，插入在所述上方固持器中且具有固持所述上方衬底的表面；

粘性卡盘，安装在所述固持块上以用粘着力固持所述上方衬底；以及

移动构件，设置在所述上方固持器中，其中所述移动构件的一端连接到所述固持块，且所述移动构件具有弹力以在与所述弹性变形膜片的所述变形方向相反的方向上移动，

其中所述弹性变形膜片在所述粘性卡盘的一侧安装在所述固持块上。

12.根据权利要求11所述的衬底处理设备，包括多个真空孔，所述真空孔垂直地穿过所述上方固持器且具有通过固持所述上方衬底的所述上方固持器的表面而暴露的一端，其中所述真空孔相互间隔开。

13.根据权利要求12所述的衬底处理设备，其中所述移动构件包括：

主体，安装在所述上方固持器中，以使得所述主体的一端连接到所述固持块；

弹性构件，安装在所述主体中；以及

杆，具有插入在所述主体中且连接到所述弹性构件的一端，其中所述杆的另一端从所述主体突出且连接到所述固持块，且所述杆由所述弹性构件向前移动到所述上方衬底或在远离所述上方衬底的方向上向后移动。

14.根据权利要求12或13所述的衬底处理设备，其中所述衬底固持单元以多个来设置，个别地设置在所述真空孔之间。