[发明专利]辅助光刻区机台切换光罩的方法、装置及机台

权利要求书

1.一种辅助光刻区机台切换光罩的方法，其特征在于，包括：

对所述光刻区机台进行派货，每片晶圆可进入所述光刻区机台上的功能槽腔室并由此形成每片晶圆的运行轨迹，所述光刻区机台上的功能槽包括与曝光相关的功能槽；

监测所述晶圆的运行轨迹；

若所述晶圆的曝光需切换光罩，则在所述运行轨迹显示晶圆进入与曝光相关的功能槽腔室之前，发出与切换光罩有关的信息。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述光刻区机台包括：TRACK机及曝光机，所述光刻区机台上的功能槽包括：所述TRACK机及曝光机上的功能槽；所述与曝光相关的功能槽为所述曝光机上的功能槽。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述TRACK机上的功能槽至少包括：传输功能槽、清洗功能槽、冷却功能槽、涂胶功能槽、边缘曝光功能槽、暂存功能槽、热处理功能槽及显影功能槽。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述监测所述晶圆的运行轨迹包括：

定义各个功能槽对应的位置信息；

记录每片晶圆当前处于的功能槽，以获取该晶圆的位置信息。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括：

判断所述晶圆的曝光是否需要切换光罩。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，若前一片晶圆与后一片晶圆虽属于同一货品但其晶圆表面不同，则后一片晶圆的曝光需切换光罩。

7.如权利要求5所述的方法，其特征在于，若前一片晶圆与后一片晶圆属于不同货品，则后一片晶圆的曝光需切换光罩。

8.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述判断所述晶圆的曝光是否需要切换光罩包括：

从晶圆盒电子标签内读取获得所述晶圆的产品信息；

基于所述产品信息获取所述晶圆的光罩类型；

判断所获取光罩类型与当前光罩类型是否一致，以决定所述晶圆的曝光是否需要切换光罩。

9.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述运行轨迹显示晶圆进入与曝光相关的功能槽腔室之前，发出与切换光罩有关的信息，包括：

在所述运行轨迹显示晶圆进入与曝光相关的功能槽腔室之前、且离开涂胶功能槽之后，发出与切换光罩有关的信息。

10.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在所述运行轨迹显示晶圆进入与曝光相关的功能槽腔室之前，发出与切换光罩有关的信息，包括：

在所述运行轨迹显示晶圆进入传输功能槽、边缘曝光功能槽或暂存功能槽的任意一个功能槽时，发出与切换光罩有关的信息。

11.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述与切换光罩有关的信息包括：触发信息；该方法还包括：

基于所述触发信息检测所需光罩是否已切换；

若未切换则发出使光罩切换的信息。

12.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述与切换光罩有关的信息包括：提醒光罩切换的报警信息。

13.如权利要求11或12所述的方法，其特征在于，所述与切换光罩有关的信息还包括：提醒光罩切换等待时间的信息。

14.一种辅助光刻区机台切换光罩的装置，其特征在于，包括：

派货执行单元，适于对所述光刻区机台进行派货，每片晶圆可进入所述光刻区机台上的功能槽腔室并由此形成每片晶圆的运行轨迹，所述光刻区机台上的功能槽包括与曝光相关的功能槽；

监测单元，适于监测所述晶圆的运行轨迹；

信息反馈单元，适于当所述晶圆的曝光需切换光罩时，在所述运行轨迹显示晶圆进入与曝光相关的功能槽腔室之前，发出与切换光罩有关的信息。

15.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述监测单元包括：

功能槽定义单元，适于定义各个功能槽对应的位置信息；

轨迹记录单元，适于记录每片晶圆当前处于的功能槽，以获取该晶圆的位置信息。

16.如权利要求14所述的装置，其特征在于，所述与切换光罩有关的信息包括：触发信息；该装置还包括：

检测单元，适于基于所述触发信息检测所需光罩是否已切换；

报警单元，适于在所述光罩未切换时发出使光罩切换的信息。