[发明专利]一种插片机的槽定位方法在审
| 申请号: | 201410334693.8 | 申请日: | 2014-07-15 |
| 公开(公告)号: | CN105322048A | 公开(公告)日: | 2016-02-10 |
| 发明(设计)人: | 李明阳 | 申请(专利权)人: | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/68 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 101111 北京市通*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 插片机 定位 方法 | ||
1.一种插片机的槽定位方法,由光纤传感器1;伺服电机2;控制器3组成。单元1为传感器,对插片机插片的石英舟槽进行检测;单元2为伺服电机,其转子转动圈数由接收到的脉冲数量决定,电机尾部有编码器,反馈转子实际转动的脉冲数量;单元3为控制器,接收伺服电机的编码反馈和传感器检测信号。3个单元相互配合,实现插片机石英舟槽的精确定位。
2.如权利要求1所述的石英舟槽定位方法,其特征在于利用传感器对石英舟槽进行检测,根据检测状态的不同传感器输出不同的高低电平信号,控制器通过该信号读取伺服电机反馈的脉冲值,从而确定石英舟槽的位置。
3.如权利要求1所述的槽位置检测,传感器反应速度和伺服电机编码反馈准确度是关键技术手段。
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