[发明专利]固态成像装置、固态成像装置的制造方法和电子设备

权利要求书

1.一种固态成像装置，包括：

多个单位像素，每个单位像素包括：

光电转换部分，把入射光转换成电信号，以及

波导，在内面具有抛物面并把所述入射光引导到所述光电转换部分，

其中，所述波导从所述光电转换部分的表面延伸。

2.权利要求1所述的固态成像装置，

其中所述单位像素包括滤色片，并且在光轴方向上所述抛物面的焦点的位置根据所述滤色片的颜色而不同。

3.权利要求1所述的固态成像装置，

其中所述单位像素包括滤色片，并且被会聚到所述抛物面的焦点的光的光斑尺寸根据所述滤色片的颜色而不同。

4.一种具有多个单位像素的固态成像装置的制造方法，每个所述单位像素包括：光电转换部分，把入射光转换成电信号；以及波导，在内面具有抛物曲面并把所述入射光引导到所述光电转换部分，该方法包括步骤：

执行如下处理，在分多个阶段逐渐增加光刻胶的孔穴尺寸的同时对在其中形成波导的绝缘层反复进行蚀刻，以在所述绝缘层中形成所述波导的孔穴，其中，所述孔穴的表面为抛物线；并且

在所述空穴中将所述光电转换部分设置成所述波导从所述光电转换部分的表面延伸。

5.权利要求4所述的固态成像装置的制造方法，

其中蚀刻气体的强度在多个阶段的蚀刻处理中被改变。

6.一种电子设备，包括：

具有多个单位像素的固态成像装置，每个所述单位像素包括：

光电转换部分，把入射光转换成电信号，以及

波导，在内面具有抛物曲面并把所述入射光引导到所述光电转换部分，

其中，所述波导从所述光电转换部分的表面延伸。