[发明专利]一种使籽晶转动的籽晶夹头有效
申请号: | 201410169006.1 | 申请日: | 2014-04-18 |
公开(公告)号: | CN103993353B | 公开(公告)日: | 2019-07-23 |
发明(设计)人: | 刘朝轩;王晨光;史优才 | 申请(专利权)人: | 洛阳金诺机械工程有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B28/10;C30B29/06 |
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地址: | 471009 河南省*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 籽晶 转动 夹头 | ||
一种使籽晶转动的籽晶夹头,涉及人工晶体领域,本发明通过在连接盘(10)上设有旋转机构,所述旋转机构的输入端连接动力源,在连接盘(10)的下部设有至少两个夹持件(13),所述每个夹持件(13)连接旋转机构使夹持件旋转,所述连接盘(10)的上部连接提拉装置;本发明通过动力源带动旋转机构旋转,然后在旋转机构的下端连接夹持件使夹持件旋转,有效的修正了由于高频线圈拉制孔内温度不一致导致硅芯椭圆,本发明具有结构简单,操作方便等特点。
【技术领域】
本发明涉及人工晶体领域,尤其涉及一种籽晶夹头,具体涉及一种在拉制硅芯过程中使籽晶转动的籽晶夹头。
【背景技术】
已知的,硅芯在拉制过程中,需要使用籽晶进行引晶,待引晶完成后进行晶体的拉制;在此过程中,籽晶需要通过籽晶夹头夹持,待高频线圈将原料棒的端头局部融化成液体后,籽晶夹头带动籽晶下降直至穿过高频线圈的拉制孔插入原料棒上端的溶液内,然后通过籽晶夹头带动籽晶上升,此时籽晶带动溶液上升并重新结晶,最终形成所需长度的硅芯;而目前本领域技术人员在拉制硅芯时,通常采用的籽晶夹头是通过在连接盘的下面固定一定数量的装有籽晶的夹持件,然后在连接盘的上面设有挂接机构,挂接机构挂接在机械手上;而通过该结构的籽晶夹头在拉制硅芯时无法完成对所拉制硅芯的椭圆度进行修正,也就是说通过该结构的籽晶夹头拉制出的硅芯椭圆,以直径为8mm的硅芯为例,其长轴与短轴的差值为0.5mm左右,10mm的硅芯其长轴与短轴的差值达到1mm左右,而12mm的硅芯其长轴与短轴的差值达到2mm左右,而椭圆的硅芯在还原炉内还原时不易装夹,那么如何降低硅芯的椭圆度就成了本领域技术人员的长期技术诉求。
【发明内容】
为了实现所述发明目的,本发明提供了一种使籽晶转动的籽晶夹头,本发明通过在连接盘内设置旋转机构,并通过动力源带动旋转机构旋转,然后在旋转机构的下端连接夹持件使夹持件旋转,有效的修正硅芯的椭圆度,本发明具有结构简单,操作方便等特点。
为实现上述发明目的,本发明采用如下技术方案:
一种使籽晶转动的籽晶夹头,包括连接盘、夹持件和旋转机构,在连接盘上设有旋转机构,所述旋转机构的输入端连接动力源,在连接盘的下部设有至少两个夹持件,所述每个夹持件连接旋转机构使夹持件旋转,所述连接盘的上部连接提拉装置形成所述的使籽晶转动的籽晶夹头。
所述的使籽晶转动的籽晶夹头,所述连接盘的形状为圆形;或椭圆形;或方形;或三角形;或多边形。
所述的使籽晶转动的籽晶夹头,所述连接盘上部面的中部设有向下凹陷的环形凹槽,在所述凹槽的中部设有主动力轴安装孔,在所述主动力轴安装孔的外围设有至少一个从动轴安装孔,所述从动轴安装孔环绕主动力轴安装孔设置,在凹槽的上部设有连接盘盖体。
所述的使籽晶转动的籽晶夹头,所述连接盘盖体的中部设有内孔,在所述内孔的外围分别设有旋拧孔和连接架固定孔,所述连接架固定孔上设有连接架,所述连接架连接提拉装置。
所述的使籽晶转动的籽晶夹头,所述旋转机构包括主动力轴、从动轴、从动齿轮和主动齿轮,所述主动力轴和从动轴分别设置在主动力轴安装孔和从动轴安装孔内,在主动力轴的外缘面上设有主动齿轮,在从动轴的外缘面上设有从动齿轮,所述主动齿轮的齿面与从动齿轮的齿面啮合,所述主动力轴的上端连接动力源,主动力轴和从动轴的下端分别连接夹持件或从动轴的下端连接夹持件。
所述的使籽晶转动的籽晶夹头,所述旋转机构的替换结构为旋转机构包括主动力轴、从动轴、从动摩擦轮和主动摩擦轮,所述主动力轴和从动轴分别设置在主动力轴安装孔和从动轴安装孔内,在主动力轴的外缘面上设有主动摩擦轮,在从动轴的外缘面上设有从动摩擦轮,所述从动摩擦轮与主动摩擦轮接触,所述主动力轴的上端连接动力源,主动力轴和从动轴的下端分别连接夹持件或从动轴的下端连接夹持件。
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