[发明专利]彩色滤光片柱状隔垫物形状矫正方法

权利要求书

1.一种彩色滤光片柱状隔垫物形状矫正方法，其特征在于，所述矫正方法包括：

对于确定的产线特性和光刻胶特性，采用测试掩膜板在平坦的隔垫物基底上制作单层柱状隔垫物，测量柱状隔垫物从其中心沿各方向到其边缘的距离与设计值的差异，得到针对曝光机光线平行度的补正值；

对于上述确定的产线特性和光刻胶特性，通过不同尺寸的隔垫物基底和柱状隔垫物，建立柱状隔垫物从其中心沿各方向到其边缘的距离与设计值的偏差模型，得到针对隔垫物基底和柱状隔垫物尺寸的偏差值；

根据所述补正值、偏差值以及柱状隔垫物设计值对应的掩膜板设计开口值得到矫正后的柱状隔垫物形状。

2.根据权利要求1所述的彩色滤光片柱状隔垫物形状矫正方法，其特征在于，设柱状隔垫物从其中心沿任一方向到其边缘的距离的设计值为R，柱状隔垫物从其中心沿所述方向到隔垫物基底边缘的距离为l，所述柱状隔垫物的设计值R对应的掩膜板设计开口值为R₀，所述补正值为C，所述偏差值为△R，矫正后的柱状隔垫物对应的掩模板设计开口值为R’；

l-R位于极值B和极值A之间，当l-R大于极值B时，柱状隔垫物满足正常制作要求，当l-R大于A时，柱状隔垫物的形状将不再受影响，所以，

当B＜l-R＜A时，

R’＝R₀+C+△R

当l-R≥A时，

R’＝R₀+C。

3.根据权利要求2所述的彩色滤光片柱状隔垫物形状矫正方法，其特征在于，所述偏差模型为，

ΔR=kB(A-1-RA-B)n,(B<1-R<A).]]>

其中，k和n为与产线特性及光刻胶特性相关的影响因子。

4.根据权利要求3所述的彩色滤光片柱状隔垫物形状矫正方法，其特征在于，所述影响因子k和n的范围为0<k<1，1<n<2。

5.根据权利要求3所述的彩色滤光片柱状隔垫物形状矫正方法，其特征在于，在相同大小的隔垫物基底上制作不同尺寸的柱状隔垫物，收集在相同隔垫物基底上不同尺寸的柱状隔垫物的差异数据；

通过数据对比直接确定极值A和极值B；

在确定极值A和极值B后，结合所述偏差模型确定k和n。

6.根据权利要求3所述的彩色滤光片柱状隔垫物形状矫正方法，其特征在于，在不同大小的隔垫物基底上制作相同尺寸的柱状隔垫物，收集在不同隔垫物基底上相同尺寸的柱状隔垫物的差异数据；

通过数据对比直接确定极值A和极值B；

在确定极值A和极值B后，结合所述偏差模型确定k和n。

7.根据权利要求1-6中任何一项所述的彩色滤光片柱状隔垫物形状矫正方法，其特征在于，所述柱状隔垫物为圆形。

8.根据权利要求7所述的彩色滤光片柱状隔垫物形状矫正方法，其特征在于，所述隔垫物基板为矩形。