[发明专利]一种X射线显微成像本底缺陷图像修正采样系统

权利要求书

1.一种X射线显微成像本底缺陷图像修正采样系统，包括用于发射X射线的射线源、用于承载待测样品的样品台及用于成像的探测器，样品台安装有样品抖动系统，其特征在于：所述探测器和所述射线源在纵向上位于所述样品台的两侧，所述射线源发射出的X射线穿透所述待测样品后投射至所述探测器上，完成一幅投影图像的采集，通过在一定角度范围内的系列采样，并利用相应的重建算法即可获取三维立体图像。

2.根据权利要求1所述的X射线显微成像本底缺陷图像修正采样系统，其特征在于：所述探测器上安装有一镜头抖动系统，该镜头抖动系统与成像零部件相连，实现成像过程中对镜头的抖动。

3.根据权利要求2所述的X射线显微成像本底缺陷图像修正采样系统，其特征在于：所述镜头抖动系统包括抖动导向机构、压电陶瓷、固定、遮光板、预紧弹簧，其中所述抖动导向机构内部设计加工为一个柔性铰链位移机构；

所述压电陶瓷安装在所述抖动导向机构内部，当所述压电陶瓷通电时膨胀，对抖动导向机构产生一个推力，使所述抖动导向机构产生弹性变形；

所述固定螺钉用于固定所述压电陶瓷，将所述压电陶瓷固定在所述抖动导向机构内；

所述遮光板安装在抖动导向机构上，防止可见光通过柔性铰链切缝进入物镜光学系统箱体内；

所述预紧弹簧安装在所述抖动导向机构内部，当所述压电陶瓷断电时，预紧弹簧可产生一个反向推力，将移动导向机构复位。

4.根据权利要求1所述的X射线显微成像本底缺陷图像修正采样系统，其特征在于：所述样品台安装有样品抖动系统，该样品抖动系统提供纵向、横向及上下方向三个自由度的平动。

5.根据权利要求1所述的X射线显微成像本底缺陷图像修正采样系统，其特征在于：所述探测器上安装在一探测器抖动系统，该探测器抖动系统即控制探测器的横向移动，在本底缺陷修正过程中完成光学器件的抖动。

6.根据权利要求5所述的X射线显微成像本底缺陷图像修正采样系统，其特征在于：所述探测器抖动系统的底座安装在电机驱动的导轨直线平台上，或者安装在压电陶瓷驱动的柔性铰链机构平台上。