[发明专利]一种质谱检测器标定装置及方法

权利要求书

1.一种质谱检测器标定装置，包括质谱检测器、标准气体，其特征在于：所述质谱检测器标定装置还包括：

采样单元，所述采样单元包括采样腔、加热模块和压力测量模块；所述采样腔通过切换单元分别与泵、所述质谱检测器、标准气体相连；所述加热模块设置在所述采样腔外部；所述压力测量模块设置在所述采样腔上实时监测所述采样腔的压力；

切换单元，所述切换单元实现采样腔与泵、质谱检测器、标准气体之间的通断；

控制人员单元，所述控制人员单元控制加热单元对所述采样腔加热使所述采样腔维持在恒定温度，并根据压力测量模块监测到的采样腔的压力控制切换单元进行各流路的切换；

泵，所述泵在控制人员单元的控制下对所述采样腔内的气体进行抽取。

2.根据权利要求1所述的质谱检测器标定装置，其特征在于：所述控制人员单元与所述加热单元、压力测量模块、切换单元和泵相连。

3.根据权利要求1所述的质谱检测器标定装置，其特征在于：所述压力测量模块为真空计。

4.根据权利要求1所述的质谱检测器标定装置，其特征在于：所述泵为所述质谱检测器的前级泵。

5.根据权利要求1所述的质谱检测器标定装置，其特征在于：所述采样单元还包括阻尼调节器，所述阻尼调节器设置在所述采样腔与标准气体相连的流路上。

6.根据权利要求1所述的质谱检测器标定装置，其特征在于：所述质谱检测器还包括质谱调节模块，所述质谱调节模块在控制单元的控制下调节质谱电信号参数，使检测信号强度达到预设值。

7.一种质谱检测器标定方法，包括以下步骤：

A、采样腔的温度维持在T；

将采样腔进行真空预抽，记录此时采样腔内的压力P1；

B、标准气体通入真空预抽后的采样腔，采样腔内的压力达到P2时，停止通入标准气体；

C、连通质谱检测器与采样腔，采样腔内的气体通入所述质谱检测器。

8.根据权利要求7所述的质谱检测器标定方法，其特征在于：所述其中，n为质谱标定所需要的标准气体的物质的量，V₁为所述采样腔的体积。

9.根据权利要求7所述的质谱检测器标定方法，其特征在于：所述标定方法还包括步骤D：

调节质谱电信号参数，使检测信号强度达到预设值。

10.根据权利要求7～9任一所述的质谱检测器标定方法，其特征在于：采用权利要求1～6任一所述的质谱检测器标定装置进行标定。