[发明专利]具有非磁性种子层的装置及其形成方法有效
申请号: | 201410088312.2 | 申请日: | 2014-03-11 |
公开(公告)号: | CN104050977B | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
发明(设计)人: | 田伟;V·R·印图瑞;D·林;H·殷;邱教明 | 申请(专利权)人: | 希捷科技有限公司 |
主分类号: | G11B5/23 | 分类号: | G11B5/23 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 张东梅 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁性材料层 非磁性材料 非磁性 间隙层 主极层 磁性材料 可配置 种子层 毗邻 制造 | ||
根据一个实施例,可配置一种装置,该装置包括:磁性材料的主极层;第二磁性材料层;设置在主极层和第二磁性材料层之间的第一非磁性材料间隙层;设置在主极层和第二磁性材料层之间的第二非磁性材料间隙层,其中第二非磁性材料间隙层直接毗邻第二磁性材料层设置。根据一个实施例,这允许该间隙充当第二磁性材料层的非磁性种子。根据一个实施例,这允许该间隙充当第二磁性材料层的非磁性种子。根据一个实施例,也可利用制造该设备的方法。
背景技术
经常使用多种加工步骤来形成磁性元件,例如在盘驱动器产业中使用的磁性记录头。磁性元件的性能可能受相对于其它磁性元件的取向和间隔影响。当磁性元件被设置成彼此毗邻时尤其是这样。
发明内容
提供本概述以介绍下面在详细说明中进一步描述的简单形式中的理念选择。本概述不旨在确定所要求保护的主题的关键特征或本质特征,也不旨在用来限制所要求保护的主题的范围。所要求保护的主题的其它特征、细节、用途和优势从下面如附图中进一步示出并在所附权利要求书中定义的多种应用和实现的更具体描写的详细描述中将变得明白。
根据一个实施例,可配置一种装置,该装置包括:磁性材料的主极层;第二磁性材料层;设置在主极层和第二磁性材料层之间的第一非磁性材料间隙层;设置在主极层和第二磁性材料层之间的第二非磁性材料间隙层,其中第二非磁性材料间隙层直接毗邻第二磁性材料层设置。根据一个实施例,这允许该间隙充当第二磁性材料层的非磁性种子。
在另一实施例中,可利用一种方法,该方法包括:沉积磁性材料的主极层;沉积第一非磁性材料间隙层;沉积第二非磁性材料间隙层;以及直接毗邻第二非磁性材料间隙层地沉积第二磁性材料层以使非磁性材料的第二间隙层位于磁性材料的主极层和第二磁性材料层之间。
通过阅读下面的详细描述,这些以及各种其它的特征和优点将会显而易见。
附图简述
对本技术的性质和优势的进一步理解可通过参照附图来实现,附图在说明书的剩余部分中予以描述。
图1示出根据一个实施例的具有基本均匀的写间隙的横截面的盘驱动器系统的示例图。
图2A示出根据一个实施例的用于形成主极的磁性材料的最初层。
图2B示出根据一个实施例形成在磁性材料的最初层上的斜切边。
图2C示出根据一个实施例用于两个磁性材料层之间的间隙中的最初材料层。
图2D示出根据一个实施例用于两个磁性材料层之间的间隙中的第二材料层。
图2E示出根据一个实施例设置在最初间隙材料之上的牺牲材料层。
图2F示出根据一个实施例在对牺牲层形成不平整表面的加工已发生后的牺牲层。
图2G示出根据一个实施例进一步沉积牺牲层材料以对牺牲层形成平整的顶表面。
图2H示出根据一个实施例设置在牺牲层上的第二磁性材料层。
图3示出根据一个实施例形成基本均匀间隙层的方法的流程图。
图4示出根据一个实施例形成间隙层的另一实施例的流程图。
图5示出根据一个实施例利用非磁性种子层的方法的流程图。
图6示出根据一个实施例利用非磁性种子层的另一实施例的流程图。
图7示出根据一个实施例具有写间隙内的至少两个非磁性材料层的写头的写间隙的横截面。
具体实施方式
本技术的实施例在本文中是以盘驱动器系统为背景披露的。然而应当理解,该技术不仅限于盘驱动器系统并也可容易地应用于其它技术系统。
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