[发明专利]利用静电悬浮的基板移送装置及基板移送方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体、显示装置元件等的制作过程中需要的基板移送装置，更详细而言，涉及一种针对主要为在真空中移送基板而固定安装的轨道，在基板与轨道之间利用静电力使基板与轨道耦合而进行移送的基板移送方法及装置。

背景技术

以往，在OLED元件等的半导体制作工序中，为了在真空中移送基板，利用机械臂或其它机械式设备支撑基板的重量，使基板移送。但是，利用机械式设备的以往技术不仅复杂、昂贵、沉重、体积大，而且发生粒子，对OLED元件质量造成不良影响。所述机械式设备要求使基板附著于移送装置的夹持过程，使用真空夹头、静电夹头、磁性夹头等各种夹头，其中，静电夹头大致利用静电使基板与基板座(也称为夹盘)附着并移送(参照大韩民国注册专利第10-1001454号等)。就静电夹头而言，夹持后使用机械式移送设备，因而当然也存在所述问题。

发明内容

本发明旨在解决所述问题，其目的是提供一种新方式的基板移送方法及装置，通过机械式设备支撑基板的重量，摆脱把基板接触附着于夹盘的以往夹头概念，能够以非接触式沿着轨道移送基板。

本发明的技术解决方案在于：

根据所述目的，本发明提供一种基板移送方法及装置，在将移动基板的路径上安装轨道，在所述轨道上相互隔开地形成多个导电体区域，在将沿着所述轨道进行移送的基板上附着或涂布导电体，向在轨道上形成的导电体接入电压，轨道的导电体带电并生成的静电场使处于附近的基板上的导电体带感应电荷，引力在所述轨道与基板中相互作用，从而使基板悬浮到轨道侧，在如此悬浮的状态下，使基板不接触轨道，在保持既定距离的同时，沿著轨道滑动。

另外，为借助于静电力，基板不接触轨道，在保持既定间隔的状态下静电悬浮移送，作为能够保持间隔的设备，本发明提供一种包括反馈的接入电压控制设备，能够感知间隔并以此为反馈来调节接入电压。

本发明的有益效果在于：

根据如上的本发明，提供一种在使机械式要素最少化或完全排除的同时，在真空中移送基板的系统，

从而具有以轻便、简单、低廉的设备替代以往沉重、复杂、制作和维护费用昂贵的机械式基板移送方式的效果。

特别是本发明的系统作为使机械式接触最少化或完全排除的悬浮移送系统，具有能够使粒子的发生实现最小化或完全消除的优点。

附图说明

图1作为本发明的优选实施例，是显示在基板(100)上形成的导电体(110)与在轨道(200)上形成的相互隔开的多个导电体(210)的俯视图。

图2是显示由图1的基板(100)和轨道(200)构成的静电悬浮基板夹头的概略图。

图3是显示在轨道(200)侧构成用于水平驱动图2所示静电悬浮基板夹头的滚轮(300)的概略性剖面图。

图4是显示根据本发明的又一优选实施例构成静电悬浮基板夹头的方法的概略性剖面构成图。

图5以电路图表现图4。

图6是为利用图4所示方式水平驱动基板而显示基板侧导电体与轨道侧导电体形状的俯视图。

图7是显示用于在静电悬浮基板夹头中保持基板与轨道间间隔的反馈装置的概略构成图。

图8是显示图7所示反馈装置变形的又一实施例的概略构成图。

图9是显示利用光距离传感器的基板与轨道间间隔保持反馈系统的概略构成图。

具体实施方式

下面参照附图，对本发明优选实施例进行详细说明。

静电悬浮基板夹头移送装置实施例

为了OLED沉积，基板的下部应暴露于沉积源，因而支撑基板而使基板不因策略而下垂的轨道应安装于基板上方，应使位于下方的基板以利用静电引力而悬浮的状态移送。因此，为了使基板悬浮于轨道一侧而与轨道耦合，如图1所示构成基板和轨道。

图1显示出为体现本发明的静电悬浮基板夹头而在基板(100)和轨道(200)上形成的导电体(210)的形状。

在基板(100)侧形成多个实线形导电体(110)，在轨道(200)侧形成多个虚线形导电体(210)。把实线形导电体(110)与虚线形导电体(210)分别表现为3行，这只是示例，也可以只以1行以上形成。在相互隔开的轨道(200)侧导电体(210)上交替连接阳极与阴极，这是为了不电气接触基板侧导电体，基板与轨道的导电体构成电容器形态，从而使得在基板(100)侧形成感应电荷。如果是形成电气接触基板侧导电体的情形，则两侧导电体可均以实线形形成。