[发明专利]磁传感器阵列测量中的平行度误差补偿方法和系统

说明书

技术领域

本发明涉及精密磁测量技术领域，具体涉及一种磁传感器阵列测量中的平行度误差补偿方法。

背景技术

梯度张量探测是最近几年才发展起来的技术，应用多个矢量磁传感器构成的磁力梯度张量测量仪（以下简称张量仪），可对磁性目标进行定位。与光泵磁力仪的搜索式定位方式不同，张量仪对磁性目标进行定位时无需来回往复地搜索，且具有定位精度高，操作简单的优点。

梯度张量仪是磁传感器阵列的一种形式，一般由数个（最少3个，多则9个）三分量磁传感器构成。由于机械安装工艺及传感器制造工艺的限制，安装误差总是存在的——即各磁传感器的敏感轴并不是平行的。理论计算可以得出：即使各磁传感器敏感轴之间的平行度误差只有0.05°，则由之带来的测量误差可达数十纳特，这大大超过了被测目标的信号强度，造成的直接后果就是测量误差偏大，无法应用于后期的精确定量计算。由于构成梯度张量仪的磁传感器尺寸较小（长度不超过200mm），而且磁传感器的敏感轴与机械结构参考面之间存在平行度误差，一般通过精密的机械对准机构进行磁传感器的安装，但是精密对准机构也只能将平行度误差缩小到0.2°，这远远不能满足梯度张量探测的要求。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种磁传感器阵列测量中的平行度误差补偿方法和系统，能够将三分量磁传感器磁敏感轴之间的平行度误差补偿至0.02度以内，有效提高了梯度张量仪对磁性目标的定位精度。

一种磁传感器阵列测量中的平行度误差补偿方法，所述的磁传感器阵列由n个磁传感器固定在同一安装板上构成，安装板上有三个两两正交的基准线，每个磁传感器有三个磁轴，分别为磁轴X、磁轴Y和磁轴Z，以安装板的一个顶点为原点O，三个基准线方向为X轴、Y轴和Z轴方向建立坐标系，该方法包括下列步骤：

步骤一、将磁传感器阵列的安装板的XOY平面与转台台面平行固定在转台上，将磁传感器阵列的X轴与转台的0°刻线对准；

步骤二、旋转转台一周，每旋转15°对磁传感器阵列的每个磁传感器的磁轴X、磁轴Y的输出数据进行采集，分别获得磁传感器阵列磁轴X的方位角与磁轴X的输出数据的对应关系、磁轴Y的方位角与磁轴Y输出数据的对应关系；所述磁轴X的方位角为磁轴X在XOY平面的投影与X轴的夹角，所述磁轴Y的方位角为磁轴Y在XOY平面的投影与Y轴的夹角；

步骤三、将磁传感器阵列的安装板YOZ平面与转台台面平行固定在转台上，将Y轴基准线与转台的0°对准；

步骤四、旋转转台一周，每旋转15°对磁传感器阵列的每个磁传感器的磁轴Y和磁轴Z的输出数据进行采集，分别获得磁传感器阵列磁轴Y的俯仰角与磁轴Y的输出数据的对应关系、磁轴Z的俯仰角与磁轴Z输出数据的对应关系；所述磁轴Y的俯仰角为磁轴Y与YOZ平面的投影与Y轴的夹角，所述磁轴Z的俯仰角为磁轴Z与YOZ平面的投影与Z轴的夹角；

步骤五、将磁传感器阵列的安装板的XOZ平面与转台台面平行固定在转台上，将Z轴基准线与转台的0°对准；

步骤六、旋转转台一周，每旋转15°对磁传感器阵列的每个磁传感器的磁轴X和磁轴Z的输出数据进行采集，分别获得磁传感器阵列磁轴X的俯仰角与磁轴X的输出数据的对应关系、磁轴Z的方位角与磁轴Z输出数据的对应关系；所述磁轴X的俯仰角为磁轴X在XOZ平面的投影与X轴的夹角，所述磁轴Z的方位角为磁轴Z在XOZ平面的的投影与Z轴的夹角；

步骤七、分别对步骤二、步骤四和步骤六获得的对应关系进行正弦拟合，获得每个磁传感器的每个磁轴的方位固有误差角和俯仰固有误差角，方位固有误差角记为α_mi，俯仰固有误差角记为β_mi，其中m为x、y、z，分别代表磁传感器的磁轴X、磁轴Y、磁轴Z，i为磁传感器阵列的编号，i=1，2,3……n；

步骤八、根据步骤七获得每个磁传感器的修正矩阵A_i，所述修正矩阵A_i为：