[发明专利]一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头

权利要求书

1.一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头，包括外壳及组装在其内的主体基座；所述主体基座上侧的凹槽内设置有透镜组件，其斜面的凹槽内设置有第一MEMS微镜；其特征在于，所述主体基座下侧的凹槽内设有第二MEMS微镜；光束通过光纤经由透镜组件射入到第一MEMS微镜上，再通过第一MEMS微镜反射到第二MEMS微镜上；外部电路通过控制所述第二MEMS微镜上的电压通断，进而控制所述第二MEMS微镜处于光路的不同位置实现光路切换，以实现探头在前向扫描、侧扫扫描和侧前向扫描之间任意切换，增大了探头的扫描面积。

2.如权利要求1所述的一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头，其特征在于，所述外壳前侧面和前端面均设有在工作波长范围内光透明的窗口。

3.如权利要求2所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述窗口采用平面和具有矫正成像畸变的曲面窗片进行密封；或所述窗口为对工作波长光透明的一体式窗口。

4.如权利要求1至3任一项所述的一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头，其特征在于，所述第二MEMS微镜包括边框、双金属驱动臂、微镜 、双金属韧带和带有焊盘的基座，所述边框四侧内壁分别通过所述双金属驱动臂与微镜连接，所述边框底端通过所述双金属韧带与基座连接；通过控制所述双金属韧带的弯曲程度控制所述微镜的镜面与水平面的角度，所述第一、第二MEMS微镜包括电热式MEMS微镜、压电MEMS微镜的MEMS微镜。

5.如权利要求4所述的一种双工作模式MEMS光学探头，其特征在于，所述第二MEMS 微镜上设置镀有光学涂层的镜面及其分布于四周的硅衬底，两者之间用连接片桥接连接，在四周设置边框，在边框下端设置有用于导电连接的焊盘；所述第一MEMS微镜及第二MEMS 微镜框架及微镜的外形为圆形或方形或其它多边形。

6.如权利要求5所述的一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头，其特征在于，所述双金属驱动臂和所述双金属韧带是多层具有不同热膨胀系数的材料构成。

7.如权利要求6所述的一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头，其特征在于，所述第一MEMS微镜的电连接方式是在所述主体基座上直接形成，或者采用PCB、陶瓷电路板安放于所述主体基座上的相应位置后形成电连接通路。

8.如权利要求7所述的一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头，其特征在于，所述第一MEMS微镜采用倒桩粘接的方式与电路板首段实现导电连接，再通过尾端与外部电路连接实现导通。

9. 如权利要求8所述的一种可切换工作模式的MEMS光学扫描探头，其特征在于，所述电路板为柔性或者硬性电路板，或者是陶瓷材料。