[发明专利]水平度测量装置及方法

权利要求书

1.一种水平度测量装置，测量一待测对象的水平度，其特征在于，该测量装置包括：

参考平面，所述参考平面具有上表面及与上表面相对的下表面；

数个测量探针，所述数个测量探针布置在参考平面的上表面，数个测量探针高出参考平面上表面的高度已知；

参考探针，所述参考探针布置在参考平面的上表面，参考探针的高度高于测量探针；

电源，所述电源的一电极与数个测量探针电连接，电源的另一电极与参考探针电连接，所述电源的电极与数个测量探针并联连接；

伺服电机，所述伺服电机驱动待测对象在竖直方向运动；及

控制器，所述控制器接收并记录数个测量探针与待测对象接触时伺服电机的反馈值，根据伺服电机的反馈值判断待测对象的水平度是否符合要求；

其中，所述电源通过所述参考探针和所述数个测量探针与所述待测对象形成的电回路数等于所述数个测量探针的数量；

其中，所述待测对象为一导体或待测对象朝向参考平面的一面分布有导电层；

其中，所述伺服电机驱动待测对象下降，参考平面上的参考探针率先与待测对象接触，伺服电机驱动待测对象继续下降，其中一个测量探针与待测对象接触，控制器接收并记录此时伺服电机反馈的一反馈值，所述反馈值与待测对象的高度值相对应。

2.根据权利要求1所述的水平度测量装置，其特征在于，当余下的测量探针分别与待测对象接触时，所述控制器接收并记录各测量探针与待测对象接触时伺服电机的反馈值，控制器接收并记录伺服电机反馈的数个反馈值后，计算出该数个反馈值中最大值与最小值之间的差值，并判断差值是否在设定的误差范围内，如果差值在设定的误差范围内，则待测对象的水平度符合要求，如果差值不在设定的误差范围内，则待测对象的水平度不符合要求。

3.根据权利要求1所述的水平度测量装置，其特征在于，所述参考平面为圆环状或者圆盘状。

4.根据权利要求1所述的水平度测量装置，其特征在于，所述测量探针和参考探针均为金属弹簧探针。

5.根据权利要求1所述的水平度测量装置，其特征在于，还进一步包括数个可调节支柱，所述数个可调节支柱布置在参考平面的下表面，数个可调节支柱调节参考平面的水平度。

6.一种使用权利要求1至5中任一项所述的水平度测量装置测量一待测对象的水平度的方法，其特征在于，包括如下步骤：

调节参考平面的水平度，以使参考平面保持水平；

伺服电机驱动待测对象下降，参考平面上的参考探针率先与待测对象接触；

伺服电机驱动待测对象继续下降，参考平面上的第一个测量探针与待测对象接触，控制器接收并记录此时伺服电机反馈的第一反馈值；

伺服电机驱动待测对象继续下降，参考平面上的第二个测量探针与待测对象接触，控制器接收并记录此时伺服电机反馈的第二反馈值；

伺服电机驱动待测对象继续下降，参考平面上的第三个测量探针与待测对象接触，伺服电机停止驱动待测对象向下运动，控制器接收并记录此时伺服电机反馈的第三反馈值；

控制器根据伺服电机的第一反馈值、第二反馈值及第三反馈值，计算出该三个值中最大值与最小值之间的差值；

判断差值是否在设定的误差范围内，如果差值在设定的误差范围内，则待测对象的水平度符合要求，如果差值不在设定的误差范围内，则待测对象的水平度不符合要求。

7.根据权利要求6所述的测量一待测对象的水平度的方法，其特征在于，如果差值不在设定的误差范围内，调整待测对象的水平度，然后，再次测量待测对象的水平度。

8.根据权利要求6所述的测量一待测对象的水平度的方法，其特征在于，设置待测对象下降高度的极限值，伺服电机驱动待测对象下降的过程中，判断待测对象下降的高度是否已达极限值，如果待测对象下降的高度达到极限值时，而控制器没有接收到伺服电机的反馈值或仅接收到伺服电机的部分反馈值，则伺服电机停止驱动待测对象向下运动。