[发明专利]用于氮化镓材料的研磨组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种用于氮化镓材料的研磨组合物，所述研磨组合物包括磨粒、表面活性剂、吡咯烷离子液体、聚乙烯醇、N-烷基-二烷基醇胺、季膦盐、冠醚、2-硝基乙醇、羧甲基纤维素、鼠李糖脂、研磨促进剂、助剂和去离子水。

2.如权利要求1所述的研磨组合物，其特征在于：以重量份计，其具体组分含量如下：

3.如权利要求1或2所述的研磨组合物，其特征在于：所述磨粒为氧化锆、SiO₂、氧化铝、氮化硅、氧化铈中的任意一种，优选为氧化锆；所述表面活性剂为[N-(4-全氟-(1,3-二甲基-2-异丙基)-1-丁烯氧基)苯磺酰氨基]乙基二乙基甲基碘化铵或2-[N-甲基-[全氟-2-[2-(丙氧基)-丙氧基]丙酰氨基]-乙基硫酸钠；所述吡咯烷离子液体为1-丁基-1甲基吡咯烷四氟硼酸盐、1-丁基-1-甲基吡咯烷溴化盐、1-丁基-1-甲基吡咯烷氯化盐、1-丁基-1-甲基吡咯烷硝酸盐、1-丁基-1-甲基吡咯烷糖精盐的任意一种或多种。

4.如权利要求1-3所述的研磨组合物，其特征在于：所述聚乙烯醇的分子量(Mw)为5000-50000g/mol；所述N-烷基-二烷基醇胺为N-甲基二异丙醇胺、N-乙基二异丙醇胺、N-丙基二异丙醇胺中的任意一种。

5.如权利要求1-4任一项所述的研磨组合物，其特征在于：所述季膦盐为四丁基溴化膦、四丁基氯化膦、四丁基醋酸膦中的任意一种。

6.如权利要求1-5任一项所述的研磨组合物，其特征在于：所述冠醚为18-冠-6、15-冠-5、苯并冠醚、羟基苯并冠醚中的任意一种。

7.如权利要求1-6任一项所述的研磨组合物，其特征在于：所述研磨促进剂为甘氨酸、丙氨酸、色氨酸的任意一种。

8.如权利要求1-7任一项所述的研磨组合物，其特征在于：所述助剂为季戊四醇三丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯中的任意一种。

9.如权利要求1-8任一项所述的研磨组合物的制备方法，其特征在于：按照重量配比将磨粒、表面活性剂、吡咯烷离子液体、聚乙烯醇、N-烷基-二烷基醇胺、季膦盐、冠醚、2-硝基乙醇、羧甲基纤维素、鼠李糖脂加入混合釜中升温至30-50℃，搅拌15-20min；然后自然冷却至室温，将研磨促进剂、助剂和去离子水按照重量比例依次加入上述混合液中并继续搅拌5-10min，均匀分散即可，即得本发明的所述研磨组合物。

10.如权利要求1-9任一项所述的研磨组合物用于氮化镓晶片或半导体材料的研磨或加工的用途。