[发明专利]具有同步数据采集机制的光学测量系统

权利要求书

1.一种光学测量系统，包括：

探测单元，用于采集反射自样品表面的光谱数据；

运动单元，用于调整入射至所述探测单元的所述光谱数据，并记录与所述光谱数据相对应的第一位置信息，其中，所述运动单元包括验偏器，所述第一位置信息包括所述探测单元采集所述光谱数据时所述验偏器的光轴位置；以及

工控单元，用于接收所述光谱数据和所述第一位置信息，并用于控制所述运动单元对入射至所述探测单元的所述光谱数据进行调整；

其中，所述探测单元通过硬件触发方式以触发所述运动单元记录所述第一位置信息，所述运动单元通过硬件触发方式以触发所述探测单元开始或停止采集所述光谱数据。

2.如权利要求1所述的光学测量系统，其特征在于，所述探测单元在采集所述光谱数据的同时，还发出第一触发信号至所述运动单元，以触发所述运动单元记录所述第一位置信息。

3.如权利要求2所述的光学测量系统，其特征在于，所述运动单元包括运动控制卡，所述运动控制卡基于所述第一触发信号记录所述第一位置信息，并基于所述工控单元的控制指令控制所述验偏器的工作状态，从而调整入射至所述探测单元的光束。

4.如权利要求2所述的光学测量系统，其特征在于，所述第一触发信号为脉冲信号。

5.如权利要求3所述的光学测量系统，其特征在于，当所述验偏器的光轴到达指定位置时，发出第二触发信号以触发所述探测单元开始采集所述光谱数据。

6.如权利要求1所述的光学测量系统，其特征在于，所述工控单元还用于对所述探测单元的积分时间、采集次数进行预设，并且将所述探测单元的触发模式设置为硬件触发模式。

7.如权利要求6所述的光学测量系统，其特征在于，当所述运动单元记录的所述第一位置信息的数量达到所述探测单元的预设的采集次数时，所述运动单元发出第三触发信号，以触发所述探测单元停止采集所述光谱数据。

8.如权利要求1所述的光学测量系统，其特征在于，还包括：

信号转换单元，分别与所述运动单元、探测单元通信连接，用于对来自所述运动单元或所述探测单元的输入信号进行调整，以输出能够触发所述探测单元或所述运动单元的输出信号。

9.一种用于光学测量系统的同步数据采集方法，包括：

A.设置探测单元、运动单元的工作参数；

B.通过所述探测单元采集光谱数据，同时发出第一触发信号至所述运动单元；

C.通过所述运动单元记录与采集的所述光谱数据相对应的第一位置信息，其中，所述运动单元包括验偏器，所述第一位置信息包括所述探测单元采集所述光谱数据时所述验偏器的光轴位置；

D.当所述光谱数据的数量达到预设值时，停止采集光谱数据。

10.如权利要求9所述的同步数据采集方法，其特征在于，所述步骤A中还包括：

设置所述探测单元的积分时间、采集次数，以及将所述运动单元的触发方式设置为硬件触发。

11.如权利要求9所述的同步数据采集方法，其特征在于，所述步骤C中还包括：

通过所述第一触发信号触发所述运动单元，使得所述运动单元记录所述第一位置信息。

12.如权利要求10所述的同步数据采集方法，其特征在于，所述步骤D中还包括：

当所述运动单元记录的所述第一位置信息的数量达到与预设的所述探测单元的采集次数相等时，通过所述运动单元以硬件触发方式触发所述探测单元停止采集光谱数据。

13.如权利要求11所述的同步数据采集方法，其特征在于，所述第一触发信号为脉冲信号。