[发明专利]等离激元微腔耦合结构的高线性偏振度量子阱红外探测器

权利要求书

1.一种等离激元微腔耦合结构的高线性偏振度量子阱红外探测器，其结构为以入射光经过先后为序依次是上层金属线条形成的金属光栅层（1），量子阱红外光电转换激活层（2）和下层金属反射层（3），其特征在于：

所述的上层金属线条形成的金属光栅层（1）为周期为p、线宽为s、厚度为h1的一维周期排列的金属线条光栅，其材质包括但不限于高导电性的金或者银；

所述的量子阱红外光电转换激活层（2）为基于导带子带间跃迁的n型半导体单个或多个量子阱层，成分材料包括但不限于GaAs/AlGaAs、InGaAs/InAlAs/InP或InGaAs/GaAs，其厚度h2的数值应不大于探测波长的三分之一；

所述的下层金属反射层（3）是指厚度为h3的一层完整的金属层，h3的值不小于以微米为单位的探测波长的平方根的0.0048倍，其材质包括但不限于高导电性的金或者银。

2.根据权利要求1所述的一种等离激元微腔耦合结构的高线性偏振度量子阱红外探测器，其特征在于：在所述的上层金属线条形成的金属光栅层（1）与量子阱红外光电转换激活层（2）之间附加有改善上层金属线条形成的金属光栅层1的黏附性的黏性金属层，其厚度为10～30纳米，材质包括但不限于钛。

3.根据权利要求1所述的一种等离激元微腔耦合结构的高线性偏振度量子阱红外探测器，其特征在于：所述的上层金属线条形成的金属光栅层（1）的周期p的数值为探测波长的十分之一到十分之三十，线宽s的数值为探测波长的十分之一到十分之十之间，厚度h1的值不小于以微米为单位的探测波长的平方根的0.0096倍。

4.根据权利要求1所述的一种等离激元微腔耦合结构的高线性偏振度量子阱红外探测器，其特征在于：在所述的量子阱红外光电转换激活层（2）和下层金属反射层（3）之间附加有改善下层金属反射层（3）黏附性的黏性金属层，其厚度为10～30纳米的黏性金属，其材质包括但不限于钛。