[发明专利]用于确定压印模具的图案的方法、压印方法和装置

说明书

在本发明中，在包含压缩气体的气氛中执行的压印处理中，图案以比现有技术高的准确度形成在基板上。提供有一种用于使用计算机来确定模具的图案的确定方法，这种模具被用在通过执行以下步骤而在压印材料上形成图案的压印处理中：在包含通过压缩而液化的压缩气体的气氛中，将基板上的压印材料和模具的图案压在一起的步骤；固化压印材料的步骤；以及使压印材料和模具分离的步骤。在按压步骤中，作为压印材料和模具之间的压缩气体液化的结果并且已渗入压印材料中的凝结液体在按压步骤完成之后与压印材料分离，并且引起压印材料的图案的收缩；计算该收缩的量；并且使用收缩量来确定模具图案的尺寸。

技术领域

本发明涉及用于确定压印模具的图案的方法、压印方法和装置。

背景技术

通过使用模具(模具、原版、掩模)的图案并在基板(诸如晶圆或玻璃基板)上形成树脂图案从而在基板上模塑树脂(压印材料)的压印技术正在受到关注。该技术使得能够在基板上创建几纳米量级的精细结构。压印技术的示例包括光固化法、热固化法以及溶胶凝胶压印法。例如，采用光固化法的压印装置将紫外线可固化的树脂(压印树脂、光可固化树脂)涂覆于基板上的投射区域(压印区域)。然后，通过使用模具来模塑未固化的树脂。在发射紫外射线使得树脂被固化之后，释放模具，由此在基板上形成树脂图案。

在PTL 1中，公开一种使用可凝结气体的压印装置，可凝结气体由于当在压印气氛中将模具压向树脂时发生的压力上升(压缩)而凝结并液化。当可凝结气体液化时，体积减小至当可凝结气体保持为气态时产生的体积的几百分之一。因此，影响图案形成并且由被压向彼此的模具与基板之间的残余气体所产生的影响可以得到抑制。

引用列表

专利文献

PTL 1：日本专利公开No.2004-103817号

发明内容

技术问题

已经发现下面的状态。在包含可凝结气体的气氛中进行的压印处理中，已被吸收到树脂中的凝结液体在按压完成之后从树脂中解吸(desorb)到外部。因此，在基板上形成的图案可能收缩，使得图案形状劣化。例如，图案线宽度减小，表面的粗糙度变大，和/或图案形状变形为非矩形的形状。

本发明的目标在于在包含可凝结气体的气氛中进行的压印处理中，以比相关技术中的准确度高的准确度在基板上形成图案。

问题的解决方案

根据用于解决上述问题的本发明的一方面，提供了一种通过使用计算机来确定模具的图案的确定方法。模具的图案被用在通过执行以下步骤而在压印材料上形成图案的压印处理中：在包含将会因压缩而液化的可凝结气体的气氛中将基板上的压印材料压向模具的图案、固化压印材料、以及从压印材料中释放模具。该方法包括以下步骤：计算压印材料上的图案的收缩量，压印材料上的图案因按压步骤完成之后从压印材料中解吸凝结液体而收缩，凝结液体是通过在按压步骤中压印材料与模具的图案之间的可凝结气体的液化而产生的并且溶解在压印材料中；以及通过使用所计算的收缩量，确定模具的图案的尺寸。

发明的有益效果

根据本发明，在包含可凝结气体的气氛中进行的压印处理中，可以以比相关技术中的准确度高的准确度在基板上形成图案。

附图说明

图1是例示了根据第一实施例的压印装置的配置的示意图。

图2是示意性地例示了在模具被释放之后所形成的树脂图案的图。

图3是例示了当模具被压时溶解在树脂中的凝结液体的比例与CD变化量之间的关系的图。

图4是例示了用于确定模具图案的方法的图。

图5包括示意性地例示了要被压的模具的图案的形状以及涂覆于基板上的树脂的形状的图。