[发明专利]用于确定压印模具的图案的方法、压印方法和装置

权利要求书

1.一种通过使用计算机来确定模具的图案的确定方法，所述模具的图案被用在通过执行以下步骤来在压印材料上形成图案的压印处理中：在包含将会因压缩而液化的可凝结气体的气氛中将基板上的压印材料按压向模具的图案、固化压印材料、以及从压印材料中释放模具，

所述确定方法包括以下步骤：

计算压印材料上的图案的收缩量，所述压印材料上的图案由于凝结液体在按压步骤完成之后从压印材料中解吸而收缩，所述凝结液体是通过在按压步骤中在压印材料与模具的图案之间的可凝结气体的液化而产生的并且溶解在压印材料中；以及

通过使用所计算的收缩量来确定模具的图案的尺寸。

2.根据权利要求1所述的确定方法，

其中，在计算步骤中，通过使用溶解在压印材料中的凝结液体的浓度以及浓度与收缩量之间的关系来计算收缩量。

3.根据权利要求2所述的确定方法，

其中，在计算步骤中，根据气氛中的可凝结气体的浓度来获得凝结液体的浓度。

4.根据权利要求3所述的确定方法，

其中，在计算步骤中，通过使用气氛中的可凝结气体的浓度分布来获得在压印材料上形成的图案区域中的凝结液体的浓度分布，并且

其中，通过使用凝结液体的浓度分布来计算收缩量。

5.根据权利要求3所述的确定方法，

在计算步骤中，

其中，通过使用在按压步骤中被限制在压印材料与模具的图案之间的可凝结气体的量来获得在压印材料上形成的图案区域中的凝结液体的浓度分布，并且

其中，通过使用凝结液体的浓度分布来计算收缩量。

6.根据权利要求1所述的确定方法，

其中，在计算步骤中，针对尺寸相互不同的多个图案成分中的每个图案成分计算收缩量。

7.根据权利要求1所述的确定方法，

其中，在确定步骤中，通过使用因在固化压印材料的步骤中压印材料的固化而产生的收缩量来确定模具的图案的尺寸。

8.一种用于制造模具的模具制造方法，该模具制造方法包括以下步骤：

通过使用根据权利要求1至7中任何一个所述的确定方法，来确定模具的图案的尺寸；以及

以使得图案的尺寸与所确定的尺寸相匹配的方式处理模具上的图案。

9.一种通过执行以下步骤来在压印材料上形成目标图案的压印方法：

通过使用利用根据权利要求8所述的模具制造方法而制造的模具，

在包含将会因压缩而液化的可凝结气体的气氛中，将基板上的压印材料压向模具的图案；

固化压印材料；以及

从压印材料中释放模具。

10.一种压印装置，该压印装置通过在包含将会因压缩而液化的可凝结气体的气氛中将基板上的压印材料压向模具的图案并且然后从压印材料中释放模具，来在压印材料上形成图案，该压印装置包括：

通过使用根据权利要求8所述的模具制造方法制造的模具；以及

将可凝结气体供应到所述气氛的供应单元。

11.一种用于制造产品的方法，该方法包括以下步骤：

通过使用根据权利要求10所述的压印装置来在基板上形成图案；以及

通过对其上形成有图案的基板进行处理来制造产品。