[发明专利]集成型气体供给装置

权利要求书

1. 一种集成型气体供给装置，其特征在于，

通过在以平面观察隔开间隔地并列设置的气体入口侧块（12）及气体出口侧块（13）上对置状地组合固定设置有多个流量控制部的两台流量控制器（3），并且在各流量控制器（3）中设置入口开闭阀（1）及出口开闭阀（5），来形成包括至少四个系统的气体供给线路（S）的气体供给单元（U），并成为将多台该气体供给单元（U）堆叠固定的结构。

2. 如权利要求1所述的集成型气体供给装置，其特征在于，

使流量控制器（3）为具有并列状地设置有两个流量控制部的两个系统的气体供给线路的压力式流量控制器（3），此外，分别将各流量控制器（3）的入口块（15）固定到气体入口侧块（12）的侧面，并将各流量控制器（3）的出口块（16）固定到气体出口侧块（13）的侧面，将各流量控制器（3）对置状地组合固定，进而在上述气体入口侧块（12）的右侧固定入口开闭阀（1），并在气体出口侧块（13）的左侧固定出口开闭阀（5），并且使气体供给单元（U）的堆叠数为多台。

3. 如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于，

在气体入口侧块（12）的右侧面上固定有入口开闭阀用主体块（18），在该入口开闭阀用主体块（18）的正面侧及背面侧固定两流量控制器（3）的入口开闭阀（1），此外，在气体出口侧块（13）的左侧面上固定出口开闭阀用主体块（19），在该出口开闭阀用主体块（19）的正面侧及背面侧固定两流量控制器（3）的出口开闭阀（5）。

4. 如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于，

使设置在入口开闭阀用主体块（18）上的各流量控制器（3）用的入口开闭阀（1）为1台，从一个加工气体入口接头（6）或净化气体入口接头（7）向两流量控制器（3）的入口开闭阀（1）供给加工气体或净化气体，经过气体入口侧块（12）的气体通路（28）及流量控制器（3）的入口块（15）的气体通路（28）向各流量控制器（3）供给加工气体或净化气体。

5. 如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于，

使设置在出口开闭阀用主体块（19）上的各流量控制器（3）用的出口开闭阀（5）为两台，从合计4台出口开闭阀（5）经过一个加工气体出口接头（8）供给加工气体或净化气体。

6. 如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于，

使气体入口侧块（12）为高度H的柱状体，并且在该气体入口侧块（12）上穿孔多个纵向气体通路（25），通过该纵向气体通路（25），使由堆叠的多台气体供给单元（U）的各气体入口侧块（12）的四条气体通路（28）构成的入口侧气体通路部相互连通。

7. 如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于，

使气体出口侧块（13）为高度H的柱状体，并且在该气体出口侧块（13）上，在高度方向上隔开间隔地形成有由堆叠的多台气体供给单元（U）的四条气体通路（28）构成的出口侧气体通路部。

8. 如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于，

使气体入口侧块（12）为高度H的柱状体，在该气体入口侧块（12）上，在高度方向上隔开间隔地形成有向堆叠的多台气体供给单元（U）供给加工气体或净化气体的由四条气体通路（28）构成的入口侧气体通路部。

9. 如权利要求1或2所述的集成型气体供给装置，其特征在于，

在出口开闭阀用主体块（19）上，设置有由与4台出口开闭阀（5）分别连通的四条独立的气体通路（28）构成的出口侧气体通路部，并且在各气体通路（28）的各自中设置有加工气体出口接头（8），成为将堆叠的多台气体供给单元（U）的各加工气体出口接头（8）彼此通过连结管（29）连结的结构。

10. 如权利要求9所述的集成型气体供给装置，其特征在于，

使出口开闭阀用主体块（19）为高度H的柱状体，在该出口开闭阀用主体块（19）上穿孔多个纵向气体通路（25），并且在该出口开闭阀用主体块（19）上，在高度方向上隔开间隔地形成有由堆叠的多台气体供给单元（U）的四条独立的气体通路（28）构成的出口侧气体通路部，利用上述纵向气体通路（25）将堆叠的多台气体供给单元（U）的出口侧气体通路部的气体通路（28）彼此相互连结。