[发明专利]具有感应元件的空气质量流量计

权利要求书

1.一种具有感应元件(15)的空气质量流量计(2)，其中所要测量的空气质量流(10)运动经过感应元件(15)，并且其中该感应元件(15)作为具有薄膜(17)的微机电系统构成，在薄膜上构成有加热元件(12)，其中在空气质量流(10)方向上，在加热元件(12)的上游和下游分别设置一个测量电阻(22)和至少两个比较电阻(21)，其中由各自一个测量电阻(22)与至少两个比较电阻(21)的电连接形成第一感温元件(7)和第二感温元件(8)，其特征在于，所述第一感温元件(7)由相对于空气质量流(10)设置在加热元件(12)上游的测量电阻(22)和相对于空气质量流(10)设置在加热元件(12)下游的两个比较电阻(21)构成为感应元件(15)上的电阻的串联电路，并且所述第二感应元件(8)由相对于空气质量流(10)设置在加热元件(12)下游的测量电阻(22)和相对于空气质量流(10)设置在加热元件(12)上游的两个比较电阻(21)构成为感应元件(15)上的电阻的串联电路。

2.根据权利要求1所述的具有感应元件(15)的空气质量流量计(2)，其特征在于，各个测量电阻(22)的阻值明显大于各个比较电阻(21)的阻值。

3.根据权利要求2所述的具有感应元件(15)的空气质量流量计(2)，其特征在于，所述各个测量电阻(22)的阻值至少以系数10大于各个比较电阻(21)的阻值。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的具有感应元件(15)的空气质量流量计(2)，其特征在于，所述比较电阻(21)设置在薄膜(17)的边缘区域中。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的具有感应元件(15)的空气质量流量计(2)，其特征在于，所述测量电阻(22)设置在薄膜(17)的内部区域中。