[发明专利]静电容量型传感器、声音传感器及传声器

权利要求书

1.一种静电容量型传感器，其特征在于，具备：

基板；

振动电极板，其形成于所述基板的上方；

背板，其以覆盖所述振动电极板的方式形成于所述基板的上方；

固定电极板，其以与所述振动电极板相对的方式设置于所述背板；

传感部，其由所述振动电极板和所述固定电极板构成，所述振动电极板和所述固定电极板中的至少一方被分离成多个区域，该传感部分别形成在每个被分离的各区域；

势垒电极，其设置于多个所述传感部中邻接的至少一对所述传感部彼此之间，用于防止所述传感部间的信号的干扰。

2.如权利要求1所述的静电容量型传感器，其特征在于，

所述固定电极板被分离成多个区域，在被分离的所述固定电极板彼此之间设有所述势垒电极。

3.如权利要求2所述的静电容量型传感器，其特征在于

所述势垒电极与所述固定电极板位于同一平面上。

4.如权利要求2所述的静电容量型传感器，其特征在于，

所述势垒电极与所述固定电极板由相同的材料构成。

5.如权利要求2所述的静电容量型传感器，其特征在于，

所述势垒电极包围被分离的多个区域的所述固定电极板中至少一个所述固定电极板。

6.如权利要求1所述的静电容量型传感器，其特征在于，

所述振动电极板被分离成多个区域，在被分离的所述振动电极板彼此之间设有所述势垒电极。

7.如权利要求6所述的静电容量型传感器，其特征在于，

所述势垒电极与所述振动电极板位于同一平面上。

8.如权利要求6所述的静电容量型传感器，其特征在于，

所述势垒电极与所述振动电极板由相同的材料构成。

9.如权利要求6所述的静电容量型传感器，其特征在于，

所述势垒电极包围被分离的多个区域的所述振动电极板中至少一个所述振动电极板。

10.如权利要求1所述的静电容量型传感器，其特征在于，

所述势垒电极具有导电性。

11.如权利要求1所述的静电容量型传感器，其特征在于，

所述势垒电极与基准电位、所述振动电极板或所述固定电极板中的任一个保持在相同电位。

12.如权利要求1所述的静电容量型传感器，其特征在于，

所述势垒电极比所述振动电极板或所述固定电极板的、被分离成多个的各区域的一边的长度长。

13.如权利要求1所述的静电容量型传感器，其特征在于，

所述势垒电极的终端形成为圆弧状。

14.如权利要求2所述的静电容量型传感器，其特征在于，

绝缘性的挡块从所述势垒电极朝向所述振动电极板突出。

15.如权利要求2所述的静电容量型传感器，其特征在于，

绝缘性的挡块从所述固定电极板的沿着所述势垒电极的区域朝向所述振动电极板突出。

16.如权利要求2所述的静电容量型传感器，其特征在于，

将贯通所述势垒电极及所述背板的狭缝状开口沿着所述势垒电极的长度方向设置在所述势垒电极及所述背板。

17.如权利要求2所述的静电容量型传感器，其特征在于，

将贯通所述背板的狭缝状开口与所述势垒电极的长度方向平行地设置在所述背板。