[发明专利]离子束突波恢复用的射束线电极电压调变

权利要求书

1.一种离子植入系统，包括：

离子源；

电极，所述电极保持与地电位不同的电压；以及

与所述电极连通的已调变电源系统，其中所述已调制电源系统包括：

具有第一端子和第二端子的电源；

源开关，所述源开关具有电性连接到所述电源的所述第二端子的第一 端子以及电性连接到所述电极的第二端子；

放电开关，所述放电开关具有电性接地的第一端子以及电性连接到所 述电极的第二端子；以及

控制单元，所述控制单元经配置以在检测到突波之后致动所述源开关 和所述放电开关。

2.根据权利要求1所述的离子植入系统，其中所述控制单元包括输入， 所述输入代表从所述电源传出来的电流。

3.根据权利要求2所述的离子植入系统，其中所述控制单元将所述输入 与预定范围相比，以检测所述突波。

4.根据权利要求1所述的离子植入系统，其中当检测到所述突波时，所 述控制单元断开所述源开关以使所述电源与所述电极绝缘。

5.根据权利要求4所述的离子植入系统，其中所述控制单元在断开所述 源开关之后闭合所述放电开关。

6.根据权利要求1所述的离子植入系统，还包括源阻抗，所述源阻抗电 性地串联在所述电极与所述源开关的所述第二端子之间。

7.根据权利要求1所述的离子植入系统，还包括放电阻抗，所述放电阻 抗电性地串联在所述电极与所述放电开关的所述第二端子之间。

8.根据权利要求4所述的离子植入系统，其中所述控制单元在断开所述 源开关的同时闭合所述放电开关。

9.根据权利要求1所述的离子植入系统，其中所述电极包括引出电极且 还包括抑制电极和接地电极。

10.一种用于使离子植入系统中突波最小化的方法，所述离子植入系统 具有保持与地电位不同电压的至少一个电极，所述方法包括：

使用电源将电流供应给所述电极；

对用于使所述电极保持所述电压的所述电流进行监控；

当被监控的所述电流在预定范围外时，检测突波；

在检测到所述突波之后，使所述电源与所述电极电绝缘；

在检测到所述突波之后，将所述电极电性接地；

在预定时间段之后，使所述电极与地电绝缘；以及

在所述预定时间段之后，将所述电极电性连接到所述电源，从而恢复供 至所述电极的电力。

11.根据权利要求10所述的用于使离子植入系统中突波最小化的方法， 还包括提供了控制单元且所述控制单元执行所述监控和所述检测。

12.根据权利要求11所述的用于使离子植入系统中突波最小化的方法， 还包括提供了源开关以电性连接所述电源和所述电极，并且所述控制单元致 动所述源开关。

13.根据权利要求11所述的用于使离子植入系统中突波最小化的方法， 还包括提供放电开关以电性连接地和所述电极，并且所述控制单元致动所述 放电开关。