[发明专利]分面反射镜

说明书

一种投射曝光设备(1)中照明物场(5)的照明光学单元(4)，包括：具有一结构的第一分面反射镜(13)，该结构在至少一个方向上具有至少0.2mm^‑1的空间频率；以及第二分面反射镜(14)，其包括多个分面(14a)，其中所述分面(14a)分别设有抑制所述第一分面反射镜(13)的结构的空间频率的装置。

相关申请的交叉引用

通过引用并入德国专利申请DE 10 2012 010 093.0的内容。

技术领域

本发明涉及一种投射曝光设备的照明光学单元的分面反射镜。本发明另外涉及一种投射曝光设备中照明物场的照明光学单元。本发明另外涉及投射曝光设备的照明系统，以及具有此照明系统的投射曝光设备。最后，本发明涉及一种微结构或纳米结构组件的制造方法，以及根据该方法制造的组件。

背景技术

例如，从WO 2009/100856 A1已知在用于微光刻的投射曝光设备中所使用的反射镜阵列。进一步发展此投射曝光设备的组件的需求一直存在。

发明内容

本发明的第一目的在于，改进投射曝光设备的照明光学单元的分面反射镜。该目的可通过投射曝光设备的照明光学单元的分面反射镜实现，该分面反射镜包括多个分面，其中各分面分别设有抑制(damping)在特定限制频率以上的空间频率的装置。

根据本发明的一个方面，分面反射镜包括多个分面，其分别设有抑制在特定限制频率以上的空间频率的装置。这种分面反射镜尤其可用作光瞳分面反射镜。其使得可抑制场分面反射镜的微结构，该微结构对于物场中的掩模照明(mask illumination)的均匀性有负面影响。这种具有抑制空间频率的装置的分面反射镜还导致关于光源变化与系统公差(system tolerance)的光学系统稳定性。

光瞳分面的作为目标的离焦(targeted defocusing)可充当抑制空间频率的装置。这可通过适当选择光瞳分面的曲率半径而实现。

还可使用超环面光瞳分面(toroidal pupil facet)。优选地，超环面光瞳分面配置成使得在扫描方向上的折射能力(refractive power)准确满足蝇眼聚光条件(the fly’s eye condenser condition)。这应被理解为表示：至少在一个空间方向上，中间焦点(intermediate focus)准确地成像在光瞳分面上，场分面准确地成像在掩模母版上。这导致：辐射源的位移不会造成场照明中的视差。超环面光瞳分面可在垂直于扫描方向的方向上引入所要的离焦。

抑制空间频率的分面优选设有合适的散射函数(scattering function)。该散射函数优选是一维散射函数。以适当方式选择该散射函数，以仅在交叉扫描方向(the cross-scan direction)上影响物场照明。

所发现的是，具有约0.4mrad的散射角度σ的高斯函数对于散射强度的角度分布是有利的。这使得可以将超过1.33m^-1的空间频率抑制到少于0.01％对比度(contrast)。通常，散射函数具有至少0.1mrad的散射角度σ，尤其是至少0.2mrad，尤其是至少0.3mrad。

这种散射函数可通过将一维的圆柱体写入光瞳分面中而产生。分面因此具有反射表面，其包括圆柱形表面部分。每一圆柱形表面部分优选地具有相同的对准。另外，每一圆柱形表面区具有相同的曲率半径。但是，圆柱形表面区具有不同宽度，即，不同的中心角度。因此，可以非常良好地近似所寻求的散射函数。还可用不同曲率半径与相同宽度或用不同曲率半径与不同宽度来实施该圆柱形表面部分。圆柱体的取向可任意设定。圆柱体的取向尤其取决于在蝇眼聚光体中的几何场旋转。