[发明专利]接合辅助剂及其制造方法有效
申请号: | 201380025827.1 | 申请日: | 2013-03-15 |
公开(公告)号: | CN104303278B | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 小盐哲平;本村耕治;圆尾弘树 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;B23K35/363;B23K20/10 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 周欣,陈建全 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 接合 辅助剂 及其 制造 方法 | ||
1.一种接合辅助剂,其用于辅助金属彼此的接合,含有具有除去金属的表面氧化膜的作用的还原性溶剂、和溶解在所述溶剂中的着色剂,
所述溶剂含有分子量为50~200的多官能醇,
所述着色剂具有与所述溶剂一同挥发的性质。
2.根据权利要求1所述的接合辅助剂,其中,所述溶剂的沸点Tb与所述着色剂的熔点Tm满足Tb>Tm。
3.根据权利要求1或2所述的接合辅助剂,其具有能够通过目视而识别的色调、彩色度以及明亮度。
4.根据权利要求1或2所述的接合辅助剂,其中,25℃下的粘度为0.1~10Pa·s。
5.根据权利要求1或2所述的接合辅助剂,其中,所述着色剂是有机色素。
6.根据权利要求5所述的接合辅助剂,其中,所述有机色素是选自偶氮化合物、花青化合物以及苯乙烯基化合物中的至少1种。
7.根据权利要求1或2所述的接合辅助剂,其中,所述着色剂的含量是0.01~50质量%。
8.根据权利要求1或2所述的接合辅助剂,其中,所述多官能醇是选自甘油、乙二醇、丙二醇、二甘醇、三甘醇、四甘醇、卡必醇以及溶纤剂醇中的至少1种。
9.一种接合辅助剂的制造方法,所述接合辅助剂用于辅助金属彼此的接合,所述制造方法具有将具有除去金属的表面氧化膜的作用的还原性溶剂与对于所述溶剂具有溶解性的着色剂进行混合的工序,
所述溶剂含有分子量为50~200的多官能醇,
所述着色剂具有与所述溶剂一同挥发的性质。
10.根据权利要求9所述的接合辅助剂的制造方法,其中,所述溶剂的沸点Tb与所述着色剂的熔点Tm具有Tb>Tm的关系,
具有以低于所述溶剂的沸点Tb、且高于所述着色剂的熔点Tm的温度对已混合的所述溶剂与所述着色剂同时进行加热的工序。
11.根据权利要求9或10所述的接合辅助剂的制造方法,其中,在所述溶剂与着色剂的混合物中含有相对于所述溶剂和所述着色剂的两亲介质性物质。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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