[发明专利]用于二维基板的加工站与用于加工二维基板的方法有效
申请号: | 201380018401.3 | 申请日: | 2013-02-25 |
公开(公告)号: | CN104321858B | 公开(公告)日: | 2016-11-23 |
发明(设计)人: | M.赖兴巴赫;M.鲍 | 申请(专利权)人: | JRT光电有限责任两合公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 董均华;谭祐祥 |
地址: | 德国马*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 二维 加工 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种用于二维或平面基板的加工站,其包括至少两个加工单元和彼此平行布置的用于基板的至少两个传送线以及用于使基板自传送线运动至加工单元及自加工单元返回传送线的器件,其中所述加工单元两者均定位于两个传送线之间。本发明还涉及一种用根据本发明的加工站加工二维基板的方法。
背景技术
在国际专利申请第一次公开版本WO 2011/000442 A1中揭露一种用于二维基板的这种加工站,其实施为丝网印刷加工站。未经处理的基板,尤其是未经印刷的太阳能电池晶片,由传送线转运至印刷巢(print nest),然后,印刷巢在平面台上移动到两个丝网印刷站中的一个。在印刷太阳能电池晶片后,印刷巢返回其起点,并且已印刷的太阳能电池晶片再次转运至传送线。
国际专利申请第一次公开版本WO 2009/141319 A1揭露一种用于太阳能电池晶片的大致类似的丝网印刷站,其中,旋转分度台上共设四个印刷巢。相应印刷巢上的太阳能电池晶片使用旋转分度台移动到丝网印刷站,并返回传送线。传送线在转运至印刷巢的转运点区域内配设升降带,以便使印刷巢的行进路径或轨迹保持畅通,且允许印刷巢运动至相应的转运点。还可以以所谓的交叉流配置(Cross-Flow-Konfiguration)处理太阳能电池晶片,其中,太阳能电池晶片从第一传送线转运至印刷巢,在印刷太阳能电池晶片后,印刷巢运动至第二传送线,而后由第二传送线将已印刷的太阳能电池晶片运走。
发明内容
本发明的目的在于提供用于二维基板的改进加工站及用于加工二维基板的改进方法。
根据本发明,所述目的被实现,其中,提供一种用于二维基板的加工站,包括至少两个加工单元与彼此平行布置的用于基板的至少两个传送线,其中所述加工单元两者均定位于两个传送线之间并且其中,设有用于使基板自传送线运动至加工单元及自加工单元返回传送线的器件,用于使基板运动的器件具有各包括至少一个基板支撑件的四个线性传送单元,其中第一线性传送单元布置于第二传送线与第一加工单元之间,第二线性传送单元布置于第一传送线与第一加工单元之间,第三线性传送单元布置于第一传送线与第二加工单元之间,第四线性传送单元布置于第二传送线与第二加工单元之间。
使用线性传送单元简化结构设计,且允许以高速率和因而高的生产量、能量有效的操作,以及将基板支撑件定位于加工单元区域内的非常高精度操作。这种定位精度极为重要,尤其是在太阳能电池的印刷时,因为接触指形物通常极薄且其宽度不超过数分之一毫米,事实如此。具体地,当接触指形物在太阳能电池上的多层中印刷时,定位精度极为重要。甚至不超过数分之一毫米的小偏移便有可能导致第二层未被准确印刷在第一层上,而是偏离目标,从而致使太阳能电池本质上有缺陷。依照本发明所设置的线性传送单元允许提供高度精确的加工站。
在本发明的改进实施例中,第一及第四线性传送单元被构造成使得相应的基板支撑件运动至第二传送线区域内的公共转运点。在本发明的改进实施例中,第二及第三线性传送单元被构造成使得相应的基板支撑件运动至第一传送线区域内的公共转运点。
藉此,在每种情况下,两个线性传送单元能够在公共转运点处自传送线接管基板或者将基板转运至传送线。尽管设有两个加工单元与四个线性传送单元,但每条传送线仅需一个转运点。转运点例如可配设相机或其它类型的测量与监测装置,以便检测未经印刷的太阳能电池的整体性及其位置,同样对于已印刷的太阳能电池监测印刷的正确定位以及已印刷的太阳能电池的整体性。由于每条传送线仅需单个转运点,这种测量与监测站的构建工作因而可保持在低的水平。
在本发明的改进实施例中,加工单元两者均沿传送线的前移方向彼此隔开,四个线性传送单元从上方看处于菱形布置。
借助于菱形布置,两个加工站能连接到两个转运点,且加工单元与转运点之间的相应距离能保持同等长度。甚至线性传送单元以方形的形式布置也被认为是菱形布置。
在本发明的改进实施例中,线性传送单元是线性导引装置,滑块在线性导引装置上引导,所谓的线性轴。
借助于这种线性轴,实现基板支撑件的快速线性运动,且同样地,高定位精度是可能的。可以通过电动、气动或甚至液压致动来驱动线性轴。
在本发明的改进实施例中,第一及第二传送线在至线性传送单元间的相应转运点区域内适合于分段移离线性传送单元的基板支撑件的轨迹。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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