[发明专利]耐振动的加速度传感器结构

权利要求书

1.一种MEMS结构，其包括锚固件(1)、弹簧(2)和震动块(3)，所述震动块(3)被悬挂至所述锚固件(1)以通过所述弹簧绕着转动轴枢转；

所述MEMS结构包括从所述震动块(3)延伸至所述锚固件(1)的弹簧结构(2、4)；所述MEMS结构的特征在于：

所述弹簧结构(2、4)的至少一部分是由刚性的侧臂(4)形成的，所述侧臂(4)在所述弹簧结构中沿与所述震动块的所述转动轴平行的方向从所述震动块(3)或从所述锚固件(1)延伸；且所述侧臂(4)被连接至所述弹簧(2)的一端。

2.如权利要求1所述的MEMS结构，其中所述侧臂(4)被连接至所述震动块(3)，并且所述弹簧结构包括刚性的肩部构件(6)，所述肩部构件(6)被连接至所述侧臂(4)的一端和所述弹簧(2)的所述一端，由此将所述侧臂(4)连接至所述弹簧(2)的所述一端。

3.如权利要求2所述的MEMS结构，其中所述肩部构件(6)沿与所述转动轴的方向垂直的方向延伸。

4.如权利要求1至3中任一项所述的MEMS结构，其中所述侧臂(4)被连接至所述震动块(3)，所述锚固件(1)是沿着所述转动轴延伸且至少部分地进入所述震动块(3)中的细长元件。

5.如权利要求1所述的MEMS结构，其中所述侧臂(4)从所述震动块(3)开始延伸，且与所述震动块(3)的所述转动轴对齐。

6.如权利要求1至3中任一项所述的MEMS结构，其中所述MEMS结构包括位于所述震动块(3)的相对两侧的两个侧臂(4)。

7.如权利要求6所述的MEMS结构，其中所述两个侧臂中的一个侧臂不同于另一个侧臂，以用于在抵抗不想要的振动时的不同刚度模式。

8.如权利要求6所述的MEMS结构，其中所述MEMS结构包括两个肩部构件(6)，且所述两个肩部构件(6)中的一个肩部构件(6)的长度不同于另一个肩部构件(6)的长度，以用于在抵抗不想要的振动时的不同刚度模式。

9.如权利要求1至3中任一项所述的MEMS结构，其中所述MEMS结构包括被用于双差分检测的两个震动块(Z1、Z2)。

10.如权利要求9所述的MEMS结构，其中所述两个震动块(Z1、Z2)被布置成绕着同一个转动轴枢转。

11.如权利要求9所述的MEMS结构，其中所述两个震动块(Z1、Z2)中的每一个分别包括侧臂和肩部构件，且所述两个震动块中的一个震动块(Z1；Z2)的所述侧臂和所述肩部构件被嵌套到所述两个震动块中的另一个震动块(Z2；Z1)的尺寸内。

12.如权利要求9所述的MEMS结构，其中所述两个震动块(Z1、Z2)被支撑于单个锚固件(1)。

13.如权利要求9所述的MEMS结构，其中所述两个震动块(Z1、Z2)通过向单个锚固件(1)的外面延伸的细长弹簧支撑件(7)而被支撑于所述单个锚固件(1)。

14.一种MEMS结构矩阵，其包括如在前权利要求中任一项所述的MEMS结构。

15.一种加速度传感器，其包括如权利要求14所述的MEMS结构矩阵。

16.一种包括如权利要求15所述的加速度传感器的装置(D)。

17.一种包括如权利要求16所述的装置的系统。