[实用新型]硅片存储装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片存储装置。

背景技术

硅片的失效分析在半导体制造工艺中有着非常重要的作用，能帮助工程师发现许多工艺上存在的问题。失效分析的进行一般都是以破坏硅片为前提，但是这种破坏通常都是局部的，即只对硅片的特定位置进行破坏，剩余的大部分以半圆或扇形或其他形状的残片形式存在。有时候，这些残片还存在保留的价值，会把同一片硅片的残片还原成接近晶圆的形式，这时就需要专门的装置来临时存储和放置这类硅片。

竖立式硅片盒并不适合此类硅片的放置：一方面，残片无法以单片占据一个槽位的形式存在；另一方面，面积较小的残片会倒在硅片盒底部，互相混杂在一起。相比而言，平叠式的硅片盒是此类硅片放置的首选。

现有技术中，目前最常用的平叠式硅片盒都是用与硅片盒尺寸相匹配的圆形塑料棉层101来分隔硅片，如图1A-1B所示，硅片盒包括圆柱形盒体10与圆形盒盖20，其中可放置多层塑料棉层101，在存储硅片时，硅片与塑料棉层101一一配合、层层叠放，硅片被相邻的两层塑料棉层101包夹在中间，在取出某特定硅片时，要把该硅片和相配合的塑料棉层一并取出，操作上极为不便，对残片的放入和取出都存在难度和风险，且很容易造成某些面积较小的残片滑落等问题。

因此，业内需要一种简单可靠的硅片存储装置，可以方便地取/放硅片，同时不会造成其他硅片或残片的滑落。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种简单可靠的硅片存储装置。

为实现上述目的，本实用新型一技术方案如下：

一种硅片存储装置，包括：圆柱形盒体、盒盖，其特征在于，盒体中设有至少一组塑料棉层盒以及与塑料棉层盒一一配合的塑料棉层盖，塑料棉层盒嵌套于盒体中，塑料棉层盖用于将硅片保护于相应的塑料棉层盒中。

优选地，设于盒体中的塑料棉层盒与塑料棉层盖为多组，分层叠放于盒体中，下层的塑料棉层盖支撑上层的塑料棉层盒。

优选地，下层的塑料棉层盖上表面与上层的塑料棉层盒下表面具有一平整、粗糙的接触面。

优选地，各塑料棉层盖尺寸相同、各塑料棉层盒尺寸相同，塑料棉层盖的半径略小于塑料棉层盒的内径。

优选地，塑料棉层盒的外径略小于盒体的内径。

本实用新型提供的硅片存储装置，可以方便地取/放硅片，同时不会造成其他硅片或残片的滑落，其操作简便、结构简单，且制作成本低、利于在行业内推广应用。

附图说明

图1A-1B示出现有技术中一平叠式硅片盒结构示意图；

图2示出本实用新型一实施例提供的硅片存储装置结构示意图；

图3示出本实用新型一实施例提供的硅片存储装置截面示意图。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。

如图2所示，本实用新型一实施例提供的硅片存储装置包括：圆柱形盒体10、盒盖20，盒体10中设有多组塑料棉层盒110以及与塑料棉层盒一一配合的塑料棉层盖120，塑料棉层盒110嵌套于盒体10中，塑料棉层盖120用于将硅片保护于相应的塑料棉层盒110中。

其中，一一配合的塑料棉层盒110与塑料棉层盖120分层叠放于盒体10中，下层的塑料棉层盖120支撑上层的塑料棉层盒110。

当把硅片放置到塑料棉层盒110内后，覆盖上圆形的塑料棉层盖120，把硅片保护在塑料棉层结构（包括塑料棉层盒110与塑料棉层盖120）内。在塑料棉层盖120上再平叠第二个塑料棉层盒110，并依次放置第二片硅片与第二个塑料棉层盖120，更多的硅片按照此法依次平叠，在需要使用一枚硅片时，先取出硅片上方的一塑料棉层盖120，随后可以方便的取出所需的硅片，而无需将硅片下方的塑料棉层盒110也取出，对硅片与塑料棉层结构分开进行操作，更为便利，且不会导致其它硅片的滑落、混杂等问题。

进一步地，下层的塑料棉层盖120上表面与上层的塑料棉层盒110下表面具有一平整、粗糙的接触面，以便于使得各层稳定地叠放在一起。

具体地，各塑料棉层盖120尺寸相同、各塑料棉层盒110尺寸相同，以便于统一制备。

如图3所示，塑料棉层盖120的半径略小于塑料棉层盒110的内径。塑料棉层盒110的外径略小于盒体10的内径。从而，塑料棉层盒110及塑料棉层盖120可方便地嵌套入盒体10中，也便于存放或取出硅片。