[实用新型]一种碳化硅和蓝宝石类超硬材料加工中冷却液的过滤装置

说明书

技术领域

本实用新型属于晶体材料加工领域，具体涉及一种用于碳化硅和蓝宝石等超硬材料加工中冷却液的过滤装置。

背景技术

碳化硅(SiC)材料为代表的第三代宽带隙半导体材料,具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和漂移速度等特点，特别适合制作高温、高压、大功率、耐辐照等半导体器件。蓝宝石单晶材料具有极好的热导性、电气绝缘性、透光性、化学稳定性、以及耐高温、高强度、高硬度等一系列优良特性，是红外装置、导弹、潜艇、卫星空间技术等的窗口材料。在SiC和蓝宝石等这种超硬材料的实际应用中需要将其加工为衬底，在衬底加工过程中，切割、磨平、磨圆、研磨、抛光等是必不可少的步骤，在上述加工过程中，需要将加工面持续冷却，一般采用切割冷却液对其进行直接冷却，但是由于材料的硬度大、韧性小，在加工过程中极易开裂，裂开后的材料碎晶便会随冷却液进入冷却液储罐，并被带入冷却液循环系统，由于碎晶的硬度大，会对循环系统的管路和泵造成严重的磨损，同时混有材料碎晶的冷却液进入加工面时也会对待加工的晶体造成损伤，使得最终获得衬底质量大大下降甚至报废，因此如何避免这部分材料碎片混入冷却液中成为现在亟待解决的问题之一。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，本实用新型的发明人提供了一种碳化硅和蓝宝石类超硬材料加工中冷却液的过滤装置，具体包括内部带有输送泵的冷却液储存罐，所述的输送泵通过管路与过滤桶的进液孔连接，所述的过滤桶内设置有过滤网桶，所述的进液孔设置在过滤网桶内，采用这种结构的过滤装置，可以通过输送泵将混有碳化硅和蓝宝石等超硬材料碎晶的冷却液送入过滤桶内，过滤网桶将碎晶滤除，从而将冷却液过滤出来，用于后续的加工操作中，从而保证了加工的质量，使得最终获得的成品品质大大提高，降低了残次品的出现概率，提高了生产的效率。

本实用新型的具体技术方案如下：

一种碳化硅和蓝宝石类超硬材料加工中冷却液的过滤装置，包括内部带有输送泵的冷却液储存罐和过滤桶，所述的输送泵通过送液管路与过滤桶的进液孔连接，所述的过滤桶内设置有过滤网桶，所述的进液孔设置在过滤网桶内；

所述的冷却液储存罐上还设置有进液管路，方便使用后的冷却液通过收集器之后进入冷却液储存罐；

所述的过滤桶为常规的不锈钢桶，由于其内设置了过滤网桶，使得其实际上成为了双层桶体；在过滤桶的底部侧面设置有冷却液出口，方便过滤后的冷却液进入加工工序中使用。

采用这种结构设置的装置，可以通过输送泵将混有碳化硅和蓝宝石等超硬材料碎晶的冷却液送入过滤桶内，过滤网桶将碎晶滤除，从而将冷却液过滤出来；其中将进液孔设置在过滤网桶内，可以使混有宝石碎屑的冷却液直接进入过滤网桶中，避免未被过滤的冷却液直接由冷却液出口排出；为了达到更好的输送效果，一般选用市场上购得的渣浆泵用作输送泵，这样可以降低碳化硅和蓝宝石等超硬材料碎晶对于泵体的磨损。

除了上述的技术方案外，根据冷却液的成分和混入杂质的不同，还可以在滤网桶内填充入不同的过滤介质，如针对于金刚石切割或磨制的冷却液，可以直接采用不锈钢材质的过滤网桶，而对于腐蚀性的冷却液，可以在过滤网桶内填入耐腐蚀过滤介质等，从而使整个过滤装置的使用范围更广，降低过滤的成本。

综上所述，采用本实用新型提供的这种结构的过滤装置，可以通过输送泵将混有碳化硅和蓝宝石等超硬材料碎晶的冷却液送入过滤桶内，过滤网桶将碳化硅和蓝宝石等超硬材料碎晶滤除，从而将冷却液过滤出来，用于后续的加工操作中，从而保证了加工的质量，使得最终获得的成品品质大大提高，降低了残次品的出现概率，提高了生产的效率。

附图说明

图1为本实用新型所述过滤装置的结构示意图；

图2为本实用新型所述过滤装置的结构剖视图；

图3为图1中A-A的剖视放大图；

图中1为进液管路，2为冷却液储存罐，3为送液管路，4为进液孔，5为过滤桶，6为冷却液出口，7为过滤网桶，8为输送泵。

具体实施方式

一种碳化硅和蓝宝石类超硬材料加工中冷却液的过滤装置，包括内部带有输送泵8的冷却液储存罐2和过滤桶5，所述的输送泵8通过送液管路3与过滤桶5的进液孔4连接，所述的过滤桶5内设置有过滤网桶7，所述的进液孔4设置在过滤网桶7内；

所述的冷却液储存罐2上还设置有进液管路1；在过滤桶5的底部侧面设置有冷却液出口6。