[实用新型]一种蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，包括腔体，设置在所述腔体内的蒸镀源和待镀基板，其特征在于，所述蒸镀装置还包括设置在所述腔体内的蒸镀遮挡装置，所述蒸镀遮挡装置包括：中空的遮挡主体和与所述遮挡主体匹配且固定的遮挡盖；

其中，所述遮挡盖设置在所述遮挡主体靠近所述待镀基板的上表面；所述遮挡主体的中空部分的截面面积大于等于所述蒸镀源的面积；

在所述蒸镀源的温度达到预蒸镀温度之前、以及蒸镀完成后所述蒸镀源的降温过程中，所述蒸镀遮挡装置设置在所述蒸镀源与所述待镀基板之间，且靠近所述蒸镀源设置。

2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括冷凝装置、以及设置在所述遮挡主体外表面的加热丝；

其中，所述冷凝装置包括设置在所述遮挡盖靠近所述待镀基板的上表面的冷却水管路、与所述冷却水管路相连的冷却水进水管和冷却水出水管、以及与所述冷却水进水管和所述冷却水出水管连接的供水装置。

3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述冷却水管路以盘旋方式均匀的平铺在所述遮挡盖的上表面。

4.根据权利要求2或3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述遮挡主体的中空部分的形状为圆柱体；

所述遮挡盖包括：一个底面以及与所述底面连接的侧面，且所述底面的面积大于等于所述遮挡主体的截面面积，所述侧面具有外螺纹；

其中，所述遮挡主体靠近所述遮挡盖的一侧具有内螺纹，所述遮挡主体上的内螺纹与所述遮挡盖的所述侧面的外螺纹相吻合。

5.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述冷却水管路固定在所述遮挡盖的上表面。

6.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述冷却水管路固定在一个金属板上，所述金属板与所述遮挡盖的上表面固定在一起；

其中，所述金属板上包括至少两个均匀分布的固定螺丝孔，与所述金属板对应的所述遮挡盖的上表面上具有相应的固定螺丝孔，所述金属板与所述遮挡盖的上表面通过与所述固定螺丝孔相匹配的螺丝固定。

7.根据权利要求5所述的蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置还包括：与冷却水进水管和/或冷却水出水管连接的传动丝杠，以及与所述传动丝杠连接的驱动装置。

8.根据权利要求7所述的蒸镀装置，其特征在于，所述驱动装置设置在所述蒸镀装置腔体的外部；

其中，所述传动丝杠的一部分位于所述腔体内，另一部分位于所述腔体外；所述驱动装置通过与所述驱动装置连接的连接杆与位于所述腔体外的所述传动丝杠连接。

9.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述冷却水进水管和所述冷却水出水管设置在所述腔体内侧，所述供水装置设置在所述腔体外部；

其中，所述供水装置通过穿过所述腔体的第一供水管与所述冷却水进水管相连，通过穿过所述腔体的第二供水管与所述冷却水出水管相连。