[实用新型]多轴电容式加速度计

权利要求书

1.一种多轴电容式加速度计，其特征在于，包括基底和XY轴结构层，所述XY轴结构层包括可动质量块、中心锚点、弹性结构以及多个检测电极，所述多个检测电极用于检测X方向和Y方向的加速度，所述可动质量块与所述中心锚点和弹性结构相连，所述中心锚点为具有缺口的结构。

2.如权利要求1所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，所述中心锚点呈十字形，其十字交叉点处向内凹陷形成缺口。

3.如权利要求1所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，所述缺口为方形缺口或梯形缺口。

4.如权利要求1所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，所述XY轴结构层包括八个检测电极，所述八个检测电极以所述中心锚点为中心呈辐射状分布于其四周；其中四个检测电极对称分布于中心锚点的左右两侧，用于检测X方向的加速度；另外四个检测电极对称分布于中心锚点的上下两侧，用于检测Y方向的加速度。

5.如权利要求4所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，每个所述检测电极均包括第一检测电极以及两个第二检测电极，所述第一检测电极与所述XY轴结构层的可动质量块相连，所述两个第二检测电极固定于所述基底上。

6.如权利要求1所述的多轴电容式加速度计，其特征在于，所述XY轴结构层还包括固定于所述基底上的多个止动块，所述多个止动块均匀分布于所述XY轴结构层的可动质量块的周围并与所述XY轴结构层的可动质量块相连。